[发明专利]超声波清洗工件的方法

权利要求书

1.一种在含有含水清洗液(1)的超声波清洗槽(2)内超声波清洗工件(6)的方法，其特征在于：含水清洗液(1)已经被除气至一个范围为2至5ppm的预先确定的溶解氧含量，含水清洗液已经被加热这30至50℃，表面活性剂已经被加入含水清洗液中，在该清洗步骤中被油粘附于工件(6)上的异物被清除。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，含水清洗液(1)被除氧至3至4ppm溶解氧含量。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，工件(6)在第二超声波清洗槽(2)中被进一步清洗，并且与该工件直接接触的固体异物在该清洗步骤中被清除，所述的第二超声波清洗槽(2)中含有第二含水清洗液，该清洗液被除气至一个不同于第一含水清洗液的预定的溶解氧含量，即0.01至3ppm。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，工件(6)在第二超声波清洗槽(2)中被进一步清洗，并且没有与该工件完全分开的毛刺在该清洗步骤中被清除，所述的第二超声波清洗槽(2)中含有第二含水清洗液，该清洗液被除气至一个不同于第一含水清洗液的预定的溶解氧含量，即0.01至0.5ppm。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，第二含水清洗液被加热至30至50℃。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括以下步骤：将清洗液(1)引入一个密封罐(13)中并对密封罐抽真空，使得溶解在清洗液中的气体被排放到密封罐中的一个空间中，由此对清洗液除气。