[实用新型]固定式高精度平面扫描干涉仪

权利要求书

1、固定式高精度平面扫描干涉仪，由压帽[1]左端座[2]，保护筒[3]，筒状压电陶瓷[4]，玻璃管[5]，反射镜[6]，右端座[7]，保护盖[8]构成，其特征在于反射镜[6]为两片平面反射镜，两片反射镜的位置通过玻璃管[5]和筒状压电陶瓷[4]固定，并使两反射面高精度平行。

2、如权利要求1所述的平面扫描干涉仪，其特征在于两片反射镜［6］分别粘结在两个玻璃管［5］上，且通过两个玻璃管［5］分别与左端座［2］和右端座［7］相连，筒状压电陶瓷［4］的一端粘结在左端座［2］或右端座［7］上，另一端经研磨调整使两片反射镜的反射面高精度平行时粘结在另一个端座上。

3、如权利要求1、2所述的平面扫描干涉仪，其特征在于两片反射镜［6］的反射面的平行精度利用He－Ne激光器［9］，短焦距透镜［10］，针孔屏［11］，反射镜［12］构成的检测装置检测，并通过对压电陶瓷的未固定端研磨调整达到高精度平行时粘结固定获得。