[发明专利]氩气纯化系统

权利要求书

1、一种纯化氩气的方法包括：

A提供一种氩气流，它含有氧气、氮气、水蒸汽、氢气、一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的一种或多种杂质；

B、在室温下使氩气流通过装有分子筛吸附剂的床，以吸附其中的水蒸汽和/或二氧化碳；

C、在室温下使氩气流通过装有催化物料的床，以化学吸附其中的氧气、氢气和/或一氧化碳；

D、在低温下使氩气流通过装有吸附剂的床，以吸附其中的氮和/或碳氢化合物；和

E、回收已纯化的氩气流。

2、按权利要求1的方法，其特征为使已纯化的氩气液化。

3、按权利要求2的方法，其特征为使已液化的氩气增压，接着使其汽化。

4、按权利要求2的方法，其特征为通过与汽化液氮进行间接热交换而使已纯化氩气液化。

5、按权利要求4的方法，其特征为通过与气态氩进行间接热交换，在低温吸附步骤（D）之前使气态氩冷至低温，从而加热汽化氮。

6、按权利要求4的方法，其特征为用汽化氮再生催化物料床。

7、按权利要求4的方法，其特征为用汽化氮再生分子筛床。

8、纯化氩气的设备包括：

（A）一个装有分子筛的床，及使含有杂质的氩气通过该分子筛床的装置;

（B）一个装有催化物料的床及使含有杂质的氩气通过该催化物料床的装置;

（C）一个装有吸附剂的床及使含有杂质的氩气通过该吸附剂床的装置;

（D）在氩气通过吸附剂床之前，使其温度降至低温的装置;及

（E）从吸附剂床中回收已纯化氩气的装置。

9、按权利要求8的设备，还包括一个冷凝器，将液氮供给冷凝器的装置以及将已纯化的氩气供给冷凝器的装置。

10、按权利要求9的设备，还包括一个液体贮罐及将液体从冷凝器通到液体贮罐的装置。

11、按权利要求10的设备，还包括使冷凝器流出的液体升压的装置及使已增压液体汽化的装置。

12、按权利要求9的设备，还包括一个热交换器及使氮气从冷凝器通到热交换器的装置。

13、按权利要求12的设备，还包括使气态氮从热交换器送入装有催化物料床的装置。

14、按权利要求12的设备，还包括使气态氮从热交换器送入装有分子筛床的装置。