[发明专利]一种电弧汽相淀积的装置

权利要求书

1、一种电弧汽相淀积的装置：

(1)阳极[1]呈筒状或钟罩形；

(2)触发电极[2]可与阴极[7]接触；

(3)一个直流电源[3]连接阳极[1]和阴极[7]，为电弧供电；

(4)一个直流电源[4]连接触发电极[2]和阴极[7]，用于启弧；

(5)基片[5]施加的电位相对于阳极[1]的电位为负并可调节，来控制轰击到基片[5]上的离子能量；

其特征是：

(6)阴极[7]为柱形，阳极[1]以阴极[7]为轴并按轴对称设置；

(7)基片架[6]位于阳极[1]和阴极[7]之间。

2、根据权利要求1所述的柱形阴极，其特征是它的长度与阳极[1]的长度基本一致。

3、根据权利要求1所述的柱形阴极，其特征是：

（1）圆柱体，或由一节节不同材料的圆环套在一根支撑柱上，或;

（2）多面体，其每一个侧表面的材料可相同或不同。

4、根据权利要求3所述的圆柱体和多面体的柱形阴极，其特征是实心或空心。

5、根据权利要求1所述的电弧汽相淀积装置，其特征是在阳极[1]的外面套有电磁线圈[48]。

6、根据权利要求1所述的电弧汽相淀积装置，其特征是在柱形阴极[7]内装有柱状永久磁铁或螺旋管电磁铁[49]。

7、根据权利要求1所述的电弧汽相淀积装置，其特征是在柱形阴极[7]内的两端处分别镶嵌柱状永久磁铁或螺旋管电磁铁[50]。

8、根据权利要求1所述的电弧汽相淀积装置，其特征是在工作室外面位于柱形阴极[7]的两端上方处分别施加永久磁铁或螺旋管电磁铁[51]。

9、根据权利要求1所述的电弧汽相淀积装置，其特征是在柱形阴极[7]的两端处分别安装阻挡壁[52]。