[发明专利]一种用于研究或改变在真空或保护气体中的样品表面的装置

权利要求书

1、一种用于研究放置在真空或在一种保护气体中的样品表面的装置，其结构型式包括一个主工作室，在该室中置有一个用于安装至少一个称作SXM部件的支承平板，该部件是借助于电或光导探针，利用对所述表面扫描进行样品表面的显微检查、光谱分析或蚀刻，所述装置的特征在于：支承平板能够从主工作室中卸下，并且围绕中轴自行旋转，使得允许使用装在所述平板周边上的一系列SXM部件。

2、根据权利要求1所述的装置，其特征在于该探针是显微探针的构成部分，该显微探针利用隧道效应收集电子或光子，电子或光子的数量是所述探针与所述样品的所述表面间距的指数函数。

3、根据上述任何权利要求所述的装置，其特征在于支承平板（27）一般是园形的，用于扫描隧道显微检查的SXM部件（26）类型的周边的SXM部件以相互邻近的角扇形方式布置。

4、根据上述任何权利要求所述的装置，其特征在于一个用于蚀刻样品（5）表面的工作室（6）和所述样品（5）的引进和贮藏工作室（4）使主工作室（8）得以完善，该样品能够利用传送器杆（15）端部经过装置1的各室传送，该传送器杆（15）能够纵向移动并且沿着所述各室（4，6，8）的准直轴线做轴转动。

5、根据权利要求4所述的装置，其特征在于样品（5）利用一个副框架（17a）保持安装在一个支承框架（17）上，在所述框架（17）的一侧至少带有一个螺旋孔（17b），使穿入传动器杆（15）的同轴套管（15c）中的轴（15b）的端部（15d）能旋入所述螺旋孔（17b），传动器杆（15）的纵向移动通过机架和传动齿轮（15a）与所述轴（15b）的共同作用来实现。

6、根据权利要求4或5中的任何一个权利要求所述的装置，其特征在于一个待分析或待蚀刻的样品（5）的贮藏部件（16）位于引进和贮藏室（4）之中，该贮藏部件（16）呈吊架（16a）的形式，该吊架（16a）分成间隔以接纳样品（5）的支承框架（17），所述吊架（16a）利用一个竖直杆（16e）在其上部进行保持固定，所述杆（16e）在风箱式可伸缩的金属连接件（18）的水平面位置上穿过工作室（4）的上壁，所述竖直杆（16e）受控于一个用以使所述贮藏部件（16）能够竖直移动和竖直绕轴旋转的同轴转动惯用旋转部件（19）。

7、根据权利要求6所述的装置，其特征在于在吊架（16a）的最高层水平料盘（16b）的上方有一个加热部件，使得假如需要，对先前和支承框架（17）一起放在所述料盘（16b）上的样品（5）进行除气。

8、根据上述任何一个权利要求所述的装置，其特征在于样品（5）的支承装置（20）放在主工作室（8）之中，所述支承装置（20）被一个操纵臂（23）所支承，操纵臂（23）经过一个风箱式可伸缩金属连接件（25）穿过所述主工作室（8）的上壁，所述操纵臂（23）受控于一个用于使所述支承装置（20）能够竖直移动和竖直绕轴旋转的同轴传动惯用旋转装置。

9、根据权利要求8所述的装置，其特征在于支承装置（20）装有一个压电传动器型（21）的竖直位移装置，它能够使适于竖直方向接纳样品（5）的水平微平板（22）进行竖直移动。

10、根据权利要求9所述的装置，其特征在于支承装置（20）具有三个竖直立柱（20c）连接起来的两个上下重叠的三角形平板（20a和20b），每一个立柱（20c）都位于所述上三角形平板（20a）的端部和所述下三角形平板（20b）的端部之间，所述上下三角形平板（20a和20b）分别具有园形通孔（20d）和园形通孔（20e），所述上园形通孔（20a）接纳所述压电传动器（21），与此同时用于扫描隧道显微检查的STM部件（26）类型的SXM部件能够适合所述下园形通孔（20e），放在所述微平板（22）上的样品（5）因此靠近装在支承平板（27）上的STM部件（26）的探针（26d），构成了一个完整的扫描隧道显微镜。