[发明专利]单晶硅生产设备

权利要求书

1、一种单晶硅生产设备，包括：一装熔融硅的旋转式石英坩埚；一电阻式加热器，用以从石英坩埚的侧面加热石英坩埚；一石英分隔件，配置得使其将所述熔融硅分隔成在其内侧的单晶生长分区和在其外侧的原料熔融分区，所述分隔件上有许多小孔供所述熔融硅从其中通过；和原料进料装置，用以将原料硅连续提供给所述原料熔融分区中，所述设备的特征如下：

所述分隔件是坩埚式的；

所述分隔件的外表面紧固在所述石英坩埚的底部内表面上；且

所述分隔件在所述熔融硅表面上方的壁厚为3毫米或以上，且小于所述分隔件在所述熔融硅表面下方平均壁厚值的80%。

2、一种单晶硅生产设备，包括：一装熔融硅的旋转式石英坩埚;一电阻式加热器，用以从石英坩埚的侧面加热石英坩埚;一石英分隔件，用以将所述熔融硅分隔成在其内侧的单晶生长分区和在其外侧的原料熔融分区，所述分隔件上有许多小孔供熔融硅从其中通过;和原料进料装置，用以将原料硅连续提供给所述原料熔融分区中;所述设备的特征如下;

所述分隔件是坩埚式的;

所述分隔件底部外表面的中心部分紧固在所述石英坩埚的底部内表面上;且

所述分隔件底部部分的内径小于所述分隔件侧面外径，且所述分隔件底部部分支撑在外径大于所述分隔件内径的圆柱形石英件上。

3、如权利要求1所述的单晶硅生产设备，其特征在于，所述分隔件的底部部分支撑在外径大于所述分隔件内径的圆柱形石英件上，且其内径小于所述隔件的侧面外径。

4、如权利要求2所述的单晶硅生产设备，其特征在于，所述圆柱形石英件上开有许从小孔通过其外径和内径。

5、如权利要求3所述的单晶硅生产设备，其特征在于，所述圆柱形石英件上开有许多小孔通过其外径和内径。