[实用新型]大容量圆筒形平板型干法刻蚀机

权利要求书

1、大容量圆筒形平板型干法刻蚀机，有圆筒形反应室、内电极板、反应室密封帽、真空泵、进出气管、刻蚀源流量计及电源线路部分组成，真空泵和刻蚀源流量计分别用连接管与反应室连接，反应室密封帽套在反应室开口处，内电极板置于反应室内，电极电源引出端与高频电源线路输出端连接，其特征是：内电极板为三个以上(含三个)水平电极板，或二个以上(含二个)垂直于水平面电极板，反应室的径向两侧或轴向两端有进气口和出气口。

2、按权利要求1所述的刻蚀机，其特征是：奇数极板并联为一组，偶数极板并联为一组，两组的电源引出端分别与高频电源线路输出端连接。

3、按权利要求1、2所述的刻蚀机，其特征是：在电源线路的高频放电回路上并联有可调节的直流偏置的直流电路。

4、按权利要求1、2所述的刻蚀机，其特征是：在电源线路的高频放电回路上并联有正负半周对称波形可调节的交流低频偏置电路。

5、按权利要求1、2所述的刻蚀机，其特征是：反应室的进气口和出气口    分别与反应室内径向放置垂直于水平面的多个电极板一一对应，其对应方式为：

a、进气口和出气口在圆筒形反应室径向两侧上分别对准反应室内径向放置垂直于水平面的电极板；

b、进气口和出气口分别对准反应室内径向放置垂直于水平面电极板间距的正中间。

6、按权利要求1、5所述的刻蚀机，其特征是：反应室进气口和出气口的连接方式有：

a、每个进气口与进气管并接，每个出气口与出气管并接，进气口并接后的排列顺序与一一对应的出气口并接后的排列顺序互逆；

b、首先将2^x个进气口和出气口中相邻两个分别两两并接为2^（x－1）组，再将并接成的2^（x－1）组中相邻组两两并接，依次并接下去，直至最后并接成2°组时，再与流量计和真空泵分别连接。

7、按照权利要求1所述的刻蚀机，其特征是：在垂直放置的每两个电极板放电空间有硅片支架。