[发明专利]电镀系统在审
申请号: | 90103727.3 | 申请日: | 1990-05-19 |
公开(公告)号: | CN1047540A | 公开(公告)日: | 1990-12-05 |
发明(设计)人: | 沈亚池 | 申请(专利权)人: | 新加坡商太阳工业股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C25D17/08;H01L23/48 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人: | 李毅 |
地址: | 新加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀 系统 | ||
1、电镀电气或电子器件的系统,它包括一盛装电解液的电镀槽,电流通过第一对阳极和阴极流经电解液;用于安置要电镀的器件以此作为所述第一对电极的阴极的装置;向电镀槽提供补充了电镀材料的电解液的装置,该供应装置包括-盛装电解液的储存罐、电流通过第二对阳极和阴极流经储存罐中的电解液;用于安置电镀材料块体以此作为所述第二对电极的阳极的装置;从而在使用中,电镀材料从第二对电极的阳极上溶解,对供应给电镀槽的电解液进行补充,然后沉积在第一对电极的阳极上。
2、如权利要求1所述的系统,它进一步包括排掉电镀材料已耗尽的电解液的装置,以及将该电解液送回储存罐以便对其补充电镀材料的装置。
3、如权利要求1或2所述的系统,它还包括两个设在储存罐中的电接头,在储存罐中安排成使它们与相应的电镀材料块体接触,其中储存罐中电流的方向是可转换的,这样当电流沿一个方向通过时,一个电镀材料块体成为阳极,当电流转换到另一个方向时,第二个电镀材料块体成为阳极。
4、如权利要求1、2或3所述的系统,其中电镀槽有一进口和一出口,将它们安排成能使电解液从进口通过器件向出口流动。
5、如权利要求4所述的设备,其中电镀槽进口包括一管,该管沿其长度方向有多个分开设置的孔口,以便沿其长度向电镀槽提供电解液,进口管安设在器件下方,出口则设置在器件上方,从而在操作中电解液是向上流动经过器件的。
6、如权利要求5所述的系统,其中电镀槽设有多根横向相间分开的进口管,该电镀槽被分成相应的多个纵向通道,每一通道接有一相应的进口管。
7、电镀电气或电子器件的方法,它包括通过第一对阳极和阴极使电流通过电镀槽中的电解液,所述第一对的阴极上设有要电镀的器件,以及向电镀槽提供补充了电镀材料的电解液,使电流通过第二对阳极和阴极流经一储存罐中的电解液而向电解液中补充电镀材料,所述第二对电极的阳极供有电镀材料块体,其中电镀材料从第二对的阳极溶解而对电解液进行补充,补充后的电解液供应给电镀槽。然后电镀材料沉积在第一对电极的阴极上。
8、如权利要求7所述的方法,其中将电镀材料已耗尽的电解液从电镀槽中排掉,并使其返回到储存罐,以便对其补充电镀材料。
9、如权利要求8所述的方法,其中在储存罐中设有两个电接头,它们与各自的电镀材料块体接触,该方法还包括周期性地转换储存罐中的电流方向,从而当电流沿一个方向通过时,一个电镀材料块体成为阳极,而当电流转换到另一个方向时,另一电镀材料块体成为阳极。
10、用于电气或电子器件条片,例如集成路片组封装或类似物的托架,它包括沿片组的长度啮合住片组各纵向边缘的第一和第二支承,两支承被弹性地压向对方以便夹住片组,至少其中一个支承有导电部分,以便与片组的相应纵向边缘电接触。
11、如权利要求10所述的托架,其中将每个支承设计成在纵向相互分开的分立位置处与相应的片组边缘啮合。
12、如权利要求11所述的托架,其中第一支承的分立啮合部分与第二支承的纵向错开。
13、如权利要求12所述的托架,还包括一主框架,第一支承固定在主框架上,还设置多个纵向分开将第二支承压向第一支承的弹簧。
14、如权利要求13所述的托架,其中第一支承是一上支承,它包括多对纵向分开的上支承部分,每一对包括两个横向分开朝下的凸台,每个凸台用于接受相应片组的上边缘,第二支承是一下支承,它包括多个纵向分开的下支承部分,每一部分大致呈倒置的“T”形,“T”形的每个臂横向伸出并设置成可接受相应片组的下边缘,“T”形的直立部分有一被所述弹簧向上顶的拱座,从而在上和下支承之间的横向空当内可固定一对片组。
15、如权利要求13所述的托架,还包括多对这样的上和下支承,它们横向一个接一个地排列。
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