[发明专利]粒状硅原料供给装置无效
| 申请号： | 90103348.0 | 申请日： | 1990-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN1016160B | 公开（公告）日： | 1992-04-08 |
| 发明（设计）人： | 毛利吉男 | 申请（专利权）人： | 日本钢管株式会社 |
| 主分类号： | C03B15/02 | 分类号： | C03B15/02;B01J4/00;B65D88/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 蔡民军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 粒状 原料 供给 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种粒状硅原料供给装置包括：
贮存粒状硅原料的料斗(13)；
供应贮存在所述料斗中的粒状硅原料的供料器(15)；和给从供粒器输送过来的粒状硅原料导向的第一导向管(16)；
供应粒状硅原料的供料管(19)，该管被布置在所述的第一导向管的下部；
包封上述料斗、供料器、导向管和供粒管的壳体(11)；
关闭生产单晶硅装置一个腔室的开口的闸阀(18)；以及布置在腔室(10)的开口中的第二导向管(21)，该管把粒状硅原料导入坩埚中，以熔化粒状硅原料；
其特征在于：所述的供料管(19)围绕着第一导向管(16)的下部并能作上下运动。
2、根据权利要求1所述的装置，其特征在于：还包括升降供应粒状硅原料的供料管的连杆机构（23）。
3、根据权利要求1所述的装置，其特征在于：还包括一个防回弹板（20），该板能防止粒状硅原料从第二导向管回弹后散射。
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