[实用新型]等离子镀膜机点弧自控装置

说明书

本实用新型涉及一种自控装置，特别是适合于等离子体加速器蒸发离化源的一种点弧自控装置。

现有的等离子体加速蒸发离化源点弧自控装置，主要采用时间继电器加上中间继电器来达到控制时间之目的。但是，由于温度变化、电源电压的波动以及金属镀料在蒸发过程中与引弧丝之间的距离发生变化，影响了引弧丝与钛靶源接触的速度和时间，时间继电器只能固定点弧时间不变，而无法解决上述问题。因此，单靠时间继电器和中间继电器来控制引弧时间，经常会造成引丝被烧断，引弧丝与钛靶源粘结在一起或弧未点燃等故障。

本实用新型的任务就是提供一种结构简单，工作可靠，且能克服上述缺点的点弧自控装置。

本实用新型是这样实现的：点弧自控装置包括弧电源、真空室、钛靶源、引弧电磁铁、引弧丝、继电器和限流电阻。本装置直接利用点弧信号来控制继电器失电，从而准确地控制点弧时间。本装置仅采用一个继电器，该继电器两工作电压控制端。一端取自弧电源的负端，另一端通过限流电阻连接在弧电源的正端，同时还与真空室中的引弧丝和钛靶源并联。引弧电磁铁串按在继电器执行触点与真空室之间。

点弧自控装置工作时，弧电源输出50伏负电压，电压继电器两工作电压控制端的压差＜45伏时。继电器便动作，其两个执行触点由常开状态变为闭合状态，引弧电磁铁便有电流通过，引弧丝在引弧电磁铁的磁场作用下向钛靶源移动。当引弧丝与钛靶源一接触，二者之间便几乎处于短路状态，由于限流电阻的限流降压作用与之并联的继电器的两工作电压控制端的压差骤然下降至3伏以下，继电器失电，其执行端两触点由闭合状态变为分离状态，引弧电磁铁失电，引弧丝恢复原位，在与钛靶源分离的瞬间产生电火花，点弧成功。与此同时，弧电源电压变为20伏左右负压，一旦断弧，弧电压又回升到50伏负压，整个点弧自控装置便进入下一次的点弧过程。

本实用新型的优点是：由于采用了引弧时间是根据点弧信号来控制。从而克服了原有技术结构所造成的引弧丝易断，引弧丝易与钛靶源粘在一起或点弧未燃的敝病。此外，本装置结构简单，成本低，使用可靠，引弧丝寿命长，经使用效果良好，有助于镀膜工艺的提高。

附图为本实用新型的结构原理图。

下面，参照附图，对本实用新型作进一步的说明。

弧电源（1）来自ZXG160型直流电焊机，开启开关后，弧电源（1）输出约50伏负电压，为继电器（3）提供工作电压，当继电器（3）两工作电压控制端的压差＞45伏时，继电器（3）就动作，其两执行端触点（3）由常开状态变为闭合状态。引弧电磁铁（4）便有电流通过，引弧丝（5）在引弧电磁铁（4）的磁场作用下向钛靶源（6）移动。当引弧丝（5）与钛靶源（6）一接触，两者之间便几乎处于短路状态。与之并联的继电器（3）的两工作电压控制端的压差急剧下降为3伏以下，继电器（3）失电，其执行端两触点（3）由闭合状态变为分离状态，引弧电磁铁（4）失电，引弧丝（5）恢复原位，在引弧丝（5）与钛靶源（6）分离的瞬间产生电火花，弧被点燃。与此同时，弧电源（1）的电压由50伏变为20伏左右，电阻（2）在引弧丝与钛靶接触时起限流作用。当断弧时弧电源（1）再次输出50伏负压，整个自控装置便进入又一次的点弧过程，图中（7）为真空室。