[发明专利]离子注入真空室

权利要求书

1、离子注入真空室，主要由旋转的底部和盖子组成，其特征在于，有一基本是圆筒形的中空恒温筒体3，提供有冷却介质的进口8和出口9，并充满冷却介质，其一端插入真空室1的底部壁面，在上述壁面是可旋转地被支承并保持真空地被密封，该恒温筒体3嵌入真空室1的一端，提供有多个其轴线沿一圆圈排列的开孔，有多个径向安置的管子2，其是导电和导热材料的两端被封闭，其中一端牢固地插入上述开孔，管子2内部部分地充有液体，该液体在真空室的操作过程中从液态变成气态，并且由气态又变成液态，径向安置的管子2的另一端提供有被离子注入的基片7的基本是平的支承件5，真空室1的盖子提供有偏心安置的开口用于注入离子束16的通道，通往正面对真空室1的盖子的上述开口的在支承件5上的基片7，还有装置13、12使恒温筒体3联同基片7的支承件5旋转运动。

2、根据权利要求1所述的离子注入真空室，其特征在于，基片7承受离子注入的表面相对注入离子束16的轴线，是呈非直角的角度进行安置。

3、根据权利要求1所述的离子注入真空室，其特征在于，真空室1联同基片7的旋转支承件5有可能相对于注入离子束16作相对运动，是沿着垂直于恒温筒体3联同基片7的支承件所作的旋转运动的轴线-平面内进行。

4、根据权利要求1所述的离子注入真空室，其特征在于，径向安置的热传递管2支承基片7的支承件5，并且它们的相对一端插入恒温筒体3的开孔内，这些热传递管2被弯曲，致使它们沿着恒温筒体3的旋转轴线的方向嵌入该筒体3内。

5、根据权利要求4所述的离子注入真空室，其特征在于，上述热传递管2被弯曲呈纯角。