[发明专利]可用自动机作业的晶片运输容器组件

说明书

本发明涉及一种具有专门设计特征的晶片运输容器组件，可使用自动机或类似的机械化设备容易而有效地进行作业。更具体地说，本发明提供了一种晶片运输容器组件，其组成构件如容器底、容器盖和晶片托架，均可由自动操纵设备进行单独的处理、装配到锁定位置、解锁和拆卸。

此外，本发明还提供了一种用于储运相当脆的硅片运输容器组件，在该容器组件中，硅片用硅片托架构件保持轴向直线排列。

将最方便易得到的晶片运输容器组件装配在一起也可提供一种具有某些设计特征的晶片储运包装，其最终的组合包装可使用自动机或类似的机械化设备进行作业。然而，在工业中，用于自动晶片堆放、运输、储存和加工的最新开发的各项技术，要求一种包装，它的组成构件不仅只在最后组合状态能用自动机处理，而且要能单独地装配、锁定、解锁和拆卸，无需使用既费时又费钱的人工。此外，通过自动机实现的包括晶片储存和运输包装的全部处理功能，还进而能保证使硅片避免任何形式的手工处理技术所带来的各种污染源。

用于本发明晶片运输容器组件的晶片是相当脆的类型的晶片，例如硅片。虽然本发明的晶片容器组件的设计可以改型，以适于更加坚硬的盘片，诸如光具盘、含铝计算机磁盘、袖珍磁盘和计算机存储磁盘，但最初的设计是用于相当脆的硅半导体晶片的。

目前市场上通用的晶片运输容器组件的各种设计，虽然具有某些特征，可以使用机械技术进行一定程度的处理，但还不完全适合自动机处理设备。

美国专利US，4，061，228示出了一种运输容器组合用的托架。它有一个利用指向上方的肋条来与容器的上壁相接的固定垫，在垫板的下表面上有一个在晶片之间使向下伸出的突缘与晶片上缘相接的装置。

美国专利US，4，248，346和US，4，043，451中介绍的全是信息薄膜用容器，薄膜直接装在容器底面上，而不是用可移去的运输容器托架。这些发明中的容器利用一个支承在容器内侧和晶片周边上的板来限制运输期间晶片在容器中的运动。

美国专利US，4，450，960也公开了一种在运输容器组件中使用晶片保持托架的运输容器，盘片托架具有“H”形挡板端壁、配合钮和弯曲的边缘，包装基底单元具有一定几何形状的垂直侧壁和定位端壁元件。

美国专利US，4，493，418公开了一种具有“H”形挡板端壁结构的作业托架，托架有支承分隔器的圆形垂直侧元件。该专利并未专门描述将这种作业托架与运输容器组合起来使用的情况。美国专利US，4，687，097揭示了一种与US，4，493，418类似的作业托架。

美国专利4，520，925系关于一种在运输容器组件中使用晶片保持托架的运输容器，托架上有圆形向下的顶部边缘，在盖与底之间包装件的内侧壁上，垂直的侧面和端部元件与托架相互接合，并将其固定在位，位于运输容器基底的底壁上，仅有托架的定位导向件或构件。顶部表面上的成排指状件使晶片固定在位，并不与托架顶部直接接合。

在包装件的底部附近，有垂直端部导向件和侧面导向件与托架相接合。

美国专利4，609，612中指出一种作业托架，自托架的各侧面向里的齿上有许多清洗槽，在托架下部的槽较宽。因为下齿比上齿窄并具有特定角度，故流体可在每个齿附近自由流动。这里并未特别揭示关于这种作业托架在与运输容器托架组件相结合方面的应用。

不仅是由于要提供一种可以安全可靠地处理和运输情报信息薄膜的坚实而方便的包装，而且也是由于要提供一种组件，能够完全由自动机进行组合与拆装作业的、能够作为一个完整的组合包装、容易而有效地进行处理的薄片运输容器组件。本发明满足了在这一处理作业领域中许多前所未有的需求。没有任何一种可方便购到的盘片运输容器组件能适合专门的、全面完成的自动机作业。

按照本发明的一个实施例，晶片运输容器组件包括（1），运输容器底部;（2），将晶片支持在运输容器底部的晶片托架;（3），运输容器盖，它与底部和晶片托架相配合形成插销连接。