[其他]包含一个电子光学系统的真空管

说明书

本发明涉及一种备有至少一个具有用于发射电子的发射表面的半导体阴极以及一个包括若干由导电材料制成的栅极的电子光学系统的真空管。

在本文中，可以把一种发射表面理解为一种其上配置有一个或多个斑点状的发射极或场致发射极的主表面或一种其中配备有若干由此造成电子发射的凹坑。

本发明并涉及一种制造这样一种电子光学系统的方法以及一种把这种系统可靠地固定在真空管中的方法。

在同时提交的PHN12.047号专利申请中提出一种其中可在很短的距离（几毫米）内使电子束偏转一个90°角的真空管。如果使用传统的技术，这样一种偏转是不能实现的。

本发明的一个目的是要实现这种可能性，并指出：即使所述偏转不是绝对必要时也能够用以制造一种很小尺寸的电子光学系统的若干方法。

为此，本发明的真空管特征在于其电子光学系统包括有若干由导电材料制成的管脚，并在于将一个栅极与至少一个管脚形成电气连接，并为了某种机械连接的目的，经由一种陶瓷玻璃，以一种在电气绝缘的方式连接到至少一个管脚。

该栅极既可以电气导通方式、又可在机械上被连接到同一个管脚。

按照本发明的一种在其内可实现90°偏转的真空管的一个最佳实施例的特征在于所述用于偏转电子束的电子光学系统包括有：平行于所述发射表面的第一组栅极，至少一个至少部分地按垂直于所述发射表面而伸展的第二栅极以及至少两个附加栅极，这两个栅极至少在其部分表面上对所述第一和第二栅极基本上成45°角伸展。

尤其由于使用所述陶瓷玻璃，例如一种锂铝硅酸盐玻璃，就为将很小的各元件固定在一起提供了可能性，同时可用导电玻璃来制成导电连接体。这就为实现一种为在接近2毫米的距离内使光速进行所述偏转的电子光学系统而提供了可能性。

一般，脱离发射表面的电子将首先受到垂直于该发射表面的一小段距离的加速。所以该已被偏转光束行进所沿的平面一般位于离该发射表面2至6mm处。

本发明真空管的另一个最佳实施例特征在于离开该发射表面最远处的附加栅极设置有一个面向所述表面的孔眼。

为了防止经由这样一个孔眼而对电场进行干扰，该孔眼可备有由导电材料制成的丝网，该发射表面可以涂敷铯或可用来减小来自位于该电子光学系统以外的源的逸出功的另一种材料。

在某些实施例中，也可将各不同栅极按电气连通的方式而互相连接。

一种制造这种所述电子光学系统方法的特征在于利用一种陶瓷玻璃材料将一被各隔片隔开的栅极组件固定到各管脚，特征并在于该陶瓷玻璃接着就固化，在其固化后除去各隔片，然后使形成各栅极 中的孔眼。

现将通过举例、参考各附图对本发明进行较详细地描述，附图中：

图1是按照本发明的一种真空管的专门对电子光学系统部分的正面示意图;

图2示意地表示一种用于这种电子光学系统和其相关阴极的连接模式;

图3是该电子光学系统的另外一个实施例的示意剖面图;

图4示意地表示在制造期间的部分电子光学系统以及

图5示意地表示另外一种变化形式。

各附图均未按比例绘出，一般对相应的各元件赋予相同的标号。

图1示意地表示本发明的一种真空管的一部分，特别是电子光学系统15的一部分。在一公共电极30上固定有若干半导体阴极10。在本实施例中使用了属于反偏置的结型半导体阴极（如第7，905，470号荷兰专利申请中所描述），其中或不备有所述专利申请中所描述的加速电极，或备有所述加速电极。该电极30与P型半导体衬底相接触，同时经把它们与连接导体32进行电气连通的连线31而与n型表面区相接触。经由这些连接导体32而产生能使各阴极10发射的电子束被调制的各种信号。在一个电绝缘支座33（例如一块玻璃板）上设置有导电通道（conductor    tracks）30、32;必要的话，该支座可同时用作该真空管的后壁。

该电子光学系统15包括有若干用由陶瓷玻璃（或失去透明性的玻璃）制成的连接体19在机械结构上与管脚26、27、28相联结的各栅极16、17、18。这样一种连接体19可以将若干栅极与同一管脚相联结。