[其他]升华泵泵体

说明书

本实用新型涉及获得高真空的吸附抽吸泵的泵体。

升华泵是一种吸气剂泵，这种泵是将钛金属加热，使其升华后，沉积到泵体内表面上，形成一层钛膜来吸附气体而达到抽气目的。钛升华泵工作压力范围为10^－3～10^－10Torr，起动压力较高，一般为10^－2Torr。它在配有前级泵后，可组成无油超高真空机组，其抽吸真空泵可高达10^－11～10^－12Torr。广泛应用于高能物理研究工作中。

升华泵泵体一般都按设计手册进行设计，机械工程手册第77篇（泵、真空泵）第14章给出了升华泵泵体的结构，它由不锈钢制成，由泵底、本体和接头部分组成，并设有冷却水套，一般用水来冷却本体部份，根据需要也可用液氮冷却，以吸收加热钛升华时放出的热量。泵体需有良好的刚度，壁厚一般达3毫米。这种泵体的结构比较复杂；另外，由于不锈钢的导热性能很差，虽然外壁进行冷却，但内壁上的温度仍然较高，影响泵的抽吸能力。

本实用新型的目的是设计一种结构简单，散热性能良好的泵体，从而能达到高的真空度。

本实用新型的目的是通过一种刚度好，且内壁沉积钛膜的面积和外壁散热面积均大得多的波纹管作泵体的主体部分来实现的，它与泵底和接头部分焊接成一整体，不需要冷却装置，就能达到设计的性能和强度要求。

附图为本实用新型的泵体结构，图中1为泵底，2为升华源，3为波纹管本体，4为接头。

接头4，用不锈钢制造，其上焊接安装进气法兰，波纹管体3为标准的异型不锈钢材，其壁厚为0.6～1毫米，对于抽速为每秒400升，极限真空为2×10^－10帕斯卡的钛钽丝升华泵，选用φ140／φ110的波纹管，壁厚为0.6～0.8毫米，波纹数为10，泵底用来安装固定升华源的座体和引线等设施。接头4用滚焊与波纹管本体3连接，泵底1和波纹管本体3用氩弧焊连接，接头4与进气法兰及座体与泵底1均用氩弧焊连接，连接件之间应有良好的密封性。

本实用新型的泵体新结构，必要时还可增设风扇，进行强制通风，以提高冷却效果。

以本实用新型作泵体设计的升华泵用于超高真空规管比对系统，取得为予期的效果，为提高我国超高真空技术提供了必要的设备，本实用新型还具有结构简单，制造方便和成本点的特点，具有明显的社会效益和经济效益。