[发明专利]双层辉光离子渗金属炉

权利要求书

1、一种双层辉光离子渗金属炉，是利用双层辉光放电现象，在真空室内设有欲渗金属元素组成的源极、阴极(工件)和阳极及具有隔热层保温结构的辅助板；连接真空室的抽真空系统；分别连接源极、阴极和阳极的直流电源，以及交流电阻加热装置及供气系统等组成。

2、根据权利要求1所述的离子渗金属炉，其中源极可以是板、条、丝、块或其它形状，这些板、条、丝之间的距离一般为5-20毫米，源极外廓相对于阴极（工件）的前沿面和工件外表面的间距为5-100毫米。

3、根据权利要求1所述的离子渗金属炉，其中源极和阴极由两个相互独立控制的直流电源供电，阳极和源极的工作电压为400-1000伏，阳极和阴极间的电压为100-1000伏。

4、根据权利要求1所述的离子渗金属炉，其中真空室的预备真空度为（1.33-6.65）×10^-1帕斯卡;工作气压范围为1.33-1333帕斯卡。

5、根据权利要求1所述离子渗金属炉，其中源极和阴极输电装置为两层纵向间隙保护结构，外层为金属套与绝缘套之间的间隙，内层为绝缘套和绝缘管之间的间隙，其间隙宽度为0.5-2.0毫米，间隙深度为10-20毫米，绝缘材料为高铝陶瓷或合成云母。

6、根据权利要求1所述的离子渗金属炉，其中阳极为隔热层内壁，隔热层系由内外金属板和高温隔热材料组成的夹层式结构。

7、根据权利要求1所述的离子渗金属炉，其中辅助交流电阻加热电源的电压为20-100伏，电阻加热元件内侧设有屏蔽板。

8、根据权利要求1所述的离子渗金属炉，其中真空系统设有两条分路，其中主分路系机械增压泵机组，以保证炉子的极限真空度达到（1.33-6.65）×10^-1帕斯卡，另一分路是采用小排气量机械泵，以保证1.33-1333帕期卡的工作气压。