[其他]紫外光源和光化反应的方法

权利要求书

1、一套紫外光源，其特征在于包括：

一个有着把工作媒质的蒸汽以适当负压进行气闭密封于其中的透明器壁的真空容器；

设置在所述容器内，用于放电的阴极和阳极端子；

用于冷却所述端子的装置。

2、根据权利要求1的光源，其特征在于，它是用于化学气相淀积系统中的。

3、根据权利要求2的光源，其特征在于，所述容器是一根用石英制成、其任何一端都是封闭的管子。

4、根据权利要求3的光源，其特征在于，所述冷却装置是一对分别盖在所述封闭端上、冷却水通过它们进行循环的罩帽。

5、根据权利要求4的光源，其特征在于，所述管子的所述两端是由所述罩帽封闭的。

6、根据权利要求5的光源，其特征在于，所述各罩帽的内面都是用导热材料制成的。

7、一套紫外光源，其特征在于包括：

-一根真空的管子;

-设置在所述管子内、其间发生放电的阳极和阴极;

-在所述管子内、被所述辉光放电激励而发射紫外光的汽化工作媒质;

-设置在所述管子上、用于以液态形式贮存所述媒质的冗余量的储蓄池;以及

-用于冷却所述储蓄池的装置。

8、根据权利要求7的光源，其特征在于，所述储蓄池设置在不发生等离子体的部位。

9、根据权利要求8的光源，其特征在于，所述工作媒质是汞。

10、根据权利要求9的光源，其特征在于，所述放电为弧光放电。