[发明专利]图象读取光检测器的制作方法

权利要求书

1、图象读取光检测器的制作方法，该光检测器包括基底、用非单晶半导体材料膜制作成的光电转换层和与该光电转换层相连的电极，该方法的特征在于：

(a)通过第一气体输送管道把气态物质(1)送入放有所述基底的抽空的膜形成空间，并通过与第一输送管道同轴的第二输送管道把气态物质(2)送入上述膜形成空间，气态物质(1)可成为所述膜的一种组分但在其原有能量状态则基本上不能对膜的形成有所贡献，气态物质(2)能够电子氧化气态物质(1)，所述第一和第二同轴气体输送管道在所述基底附近终结。

(b)在所述基底表面附近的空间，在没有等离子体的情况下使所述气态物质(1)和(2)化学接触，所述基底被维持在高温以产生包含受激初级物的多种初级物，并使至少一种所述初级物形成构成光电转换层的膜，

(c)把所述第一和第二同轴气体输送管道的出口与所述基底表面间的距离保持在5mm至15Cm。

2、权利要求1的方法，其中气态物质（1）包含硅原子。

3、权利要求1的方法，其中气态物质（1）包含硅原子和提供p型导电性或n型导电性的化学元素。

4、权利要求1的方法，其中所述物质（1）和（2）的化学接触及所述膜的形成都是在荧光环境下进行的。

5、权利要求1的方法，其中所述气体输送管道是出口对着基底表面的三层同轴管。

6、权利要求1的方法，其中所述气体输送管道是出口对着基底表面的三层同轴管，其中间出口位于被其他两个出口包围的最内凹槽内，从而形成一环形或圆锥梯形空间。