[其他]抛光用液态粘接剂

说明书

本发明属于硅片加工有蜡抛光用的一种新型的液态粘接剂。

硅片抛光工艺中需要使用一种粘接硅片的粘接剂。它将若干片硅片平整地粘在一个圆形饼状合金抛光载体上，然后把粘有硅片的抛光载体放入抛光机中对硅片进行抛光。抛光温度在50℃左右，压力为12kg/cm²。要求粘在抛光载体上的硅片不得松动：抛光完后，将粘有硅片的抛光载体取出，再将硅片从抛光载体上取下。

以往硅片抛光工艺中使用的粘接剂多为固态蜡。它的缺点较多，主要缺点是整个操作过程全部手工来实现，速度慢，效率低，抛光质量不容易保证。不适应大规模生产线上使用。

近年来我国硅片抛光采用国外进口的液态蜡作为粘接剂。将液态蜡撒在抛光载体上，硅片粘好后，放入抛光机抛光，抛完后将抛光载体放入冰箱冷却，温度降到-5℃后，硅片很容易取下，再用三氯乙烯蒸汽很容易将硅片上的液态蜡洗净。因此液态蜡粘接剂适合于大规模硅片抛光生产线上使用。但是进口的液态蜡价格昂贵，手续繁多，不易保证生产。

本发明提供的这种抛光用液态粘接剂，其目的在于解决硅片抛光大规模生产中硅片粘接问题，代替进口液态蜡粘接剂，节约外汇。

本发明的配制方法如下：

将三氯乙烯和松香按1（ml）∶1（g）的比例放入溶器中，将溶器密闭起来，避免三氯乙烯挥发跑掉。将溶器静放在室温为23°～25℃的房间里，让松香溶化。

当松香完全溶化于三氯乙烯后，再将增塑剂邻苯二甲酸二丁酯和邻苯二甲酸二辛酯以等于松香的1～3%的比例，加入三氯乙烯松香溶液，一边加一边搅拌。

加完增塑剂后，将加有增塑剂的三氯乙烯松香溶液静放在室温为23°～25℃的房间里。过3～4小时后，三氯乙烯松香溶液变成半透明的棕色液体即可用作硅片抛光的粘接剂。

三氯乙烯〔C₂HCl₃〕，松香，和邻苯二甲酸二丁酯〔C₆H₄（COOC₄H₉）₂〕邻苯二甲酸二辛酯〔C₆H₄（COOC₈H₁₇〉）₂〕之间的比例为：100（ml）∶100（g）∶2（g）∶2（g）。

本发明提供的抛光用液态粘接剂，比重为1.23g/cm³，粘度为8.6厘沲，在15°～70℃粘接硅片牢不可动，在-5℃以下时很容易使硅片从载体上脱落，用三氯乙烯蒸汽很容易将硅片上的粘接剂洗净。完全适合于大规模硅片抛光生产线上使用。并且原料充足，制作简单，价格便宜。

本发明提供的抛光用液态粘接剂，不仅适用于硅片有蜡抛光生产线上用作粘接剂，而且同样适用于与硅片抛光类似的其它有蜡抛光生产线上用作粘接剂。