[发明专利]微叠薄层镀覆

权利要求书

1、把第一种材料和第二种材料镀在耐热衬底上的一种物理汽相沉积方法，其中第一种材料为高熔点金属的氮化物，第二种材料为贵金属或该贵金属的合金，其特征在于，至少在衬底上连续和交替地沉积四层第一种材料和第二种材料的非不透明层，这些层一层叠于一层之上，且各层和邻接层不发生相互作用，第一种材料层的单层厚度在0.01和0.33μm之间，第二种材料层的单层厚度在0.003和0.13μm之间，至少要在衬底被包住后才停止沉积第一和第二种材料。

2、权利要求1所述的方法，其中高熔点金属为钛、钽、锆或铪。

3、权利要求1或2所述的方法，其中贵金属为金、铑、钯、银、锇、铱或铂。

4、权利要求1所述的方法，其中离衬底最远的最外层是第二种材料构成的层。

5、权利要求1所述的方法，其中使用至少两个置于单一真空室中的阴极溅射源（它们被有效地分开以防止第一种材料和第二种材料的原子等级混合）而进行阴极溅射沉积第一种材料层和第二种材料层。

6、权利要求1、4或5所述的方法，其中高熔点金属氮化物为氮化钛，贵金属为金。