[实用新型]一种真空腔体

说明书

本实用新型公开了一种真空腔体，涉及真空腔体技术领域，包括真空腔体，真空腔体的一侧通过合页活动铰接有门板，真空腔体的外侧固定连接有第一支撑板，第一支撑板的上侧固定连接有真空泵，真空腔体的内部固定连接有加热板，真空腔体的一侧设置有导热机构，改善了当对产品加热完并取出之后，真空腔体内部的热量会慢慢散发出去，直至温度较低，而这些热量则会被浪费掉，不能有效的进行回收利用的问题，本装置中真空腔体内部的热量可通过散热孔散热出来，而空心块则可对热量进行吸收，同时导热管便会把空心块所吸收的热量传导到储水箱内部的水中，来达到对水进行加热的效果，能有效的回收利用真空腔体内部所产生的热量。

技术领域

本实用新型涉及真空腔体技术领域，更具体地说，涉及一种真空腔体。

背景技术

真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的一种结构，其晶圆容量几乎不变。真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270—900℃工作等优点，在高真空和超高真空系统中，应用广泛。

在现有技术中，当使用真空腔体对产品进行进行加工时，需要保证腔体内为真空，且还会根据产品的加工工艺，来选择对产品进行高温加热，但当对产品加热完并取出之后，真空腔体内部的热量会慢慢散发出去，直至温度较低，而这些热量则会被浪费掉，不能有效的进行回收利用。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种真空腔体，它可有效的解决当对产品加热完并取出之后，真空腔体内部的热量会慢慢散发出去，直至温度较低，而这些热量则会被浪费掉，不能有效的进行回收利用的问题。

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种真空腔体，包括真空腔体，所述真空腔体的一侧通过合页活动铰接有门板，所述真空腔体的外侧固定连接有第一支撑板，所述第一支撑板的上侧固定连接有真空泵，所述真空腔体的内部固定连接有加热板，所述真空腔体的一侧设置有导热机构；

所述导热机构包括固定连接在真空腔体一侧的空心块，所述真空腔体的一侧开设有散热孔，且所述散热孔设置有多个，所述空心块的一侧固定连接有导热管，且所述导热管设置有多个，所述真空腔体的一侧固定连接有第二支撑板，所述第二支撑板的上侧设置有储水箱，且所述导热管位于储水箱的内部，所述真空腔体的一侧固定连接有气缸，所述气缸的下侧固定连接有挡板，所述空心块的上侧开设有滑槽，且所述挡板滑动连接在滑槽的内部。

作为本实用新型的一种优选方案，所述气缸的一侧固定连接有加固杆，且所述加固杆与真空腔体之间固定连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述挡板的上侧固定连接有连接杆，且所述连接杆与气缸之间固定连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述储水箱的内部固定连接有保护板，且所述保护板位于导热管的一侧。

作为本实用新型的一种优选方案，所述储水箱的一侧开设有螺纹槽，所述储水箱位于螺纹槽的内部螺纹连接有螺纹堵块。

作为本实用新型的一种优选方案，所述储水箱的内部固定连接有引流板，所述引流板的形状呈三角形。

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

1.本装置中真空腔体内部的热量可通过散热孔散热出来，而空心块则可对热量进行吸收，同时导热管便会把空心块所吸收的热量传导到储水箱内部的水中，来达到对水进行加热的效果，能有效的回收利用真空腔体内部所产生的热量，不易造成资源的浪费。