[实用新型]一种复合分子泵冷却装置

说明书

本实用新型涉及一种复合分子泵冷却装置，包括复合分子泵本体，所述复合分子泵本体的下表面固定有四个支撑底脚，所述复合分子泵本体的外侧套装有壳体，所述壳体的右侧设有水冷机构，所述壳体的左侧设有风冷机构。该复合分子泵冷却装置，在该复合分子泵冷却装置中设置了水冷机构，经水冷机构中各结构之间的相互配合，通过设置工业温度计和温度传感器，实现了对壳体内部的感应目的，当壳体内部的温度过高时，温度传感器向控制器发出信号，使控制阀打开，冷却水经进水管流入换热盘管，通过换热盘管对复合分子泵本体进行换热，对复合分子泵本体进行快速降温，防止复合分子泵本体的温度过高，保证了该复合分子泵的正常运行。

技术领域

本实用新型涉及复合分子泵技术领域，具体为一种复合分子泵冷却装置。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，分子泵具体可分为牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵，复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体，泵在很宽的压力范围内具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。

中国专利CN205779783U中，公开了一种高压比复合分子泵，所述复合分子泵的压比量级为1010～1011，包括涡轮段和牵引段，涡轮段由动叶轮和静叶片组成，实现大抽速，牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成，实现高压比，本实用新型的高压比复合分子泵还在涡轮段和牵引段之间增加了盘式牵引功能，即在动叶轮组件上装配了牵引盘，在外槽筒上安装了双面加工有圆弧或直线槽的牵引槽盘，增加的两级牵引功能，可以有效提高分子泵的压比，降低真空腔内部的真空压力，提高复合分子泵的抽气性能，满足仪器对超低真空的要求。

上述专利虽然盘，增加了两级盘式牵引功能，提高了分子泵的压比，降低了真空腔内部的真空压力，提高复合分子泵的抽气性能，满足仪器对超低真空的要求，但是该专利并未考虑到复合分子泵运行时会产生热量的问题，由于其需要长时间的工作，这就使得其动力电机会产生大量的热，虽然电机都自带散热结构，当仍然会有部分的热量传导给分子泵壳体部分，由于分子泵本身是高精度设备，壳体的温度上升后，会发生热涨，对其精密度造成影响，从而影响其工作的效果，为此提出一种复合分子泵冷却装置来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种复合分子泵冷却装置，具备散热效果性能好的优点，解决了壳体的温度上升后，会发生热涨，对其精密度造成影响，从而影响复合分子泵工作的效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种复合分子泵冷却装置，包括复合分子泵本体，所述复合分子泵本体的下表面固定有四个支撑底脚，所述复合分子泵本体的外侧套装有壳体，所述壳体的右侧设有水冷机构，所述壳体的左侧设有风冷机构；

所述水冷机构包括降温组件和感应组件，所述降温组件包括连通在壳体右侧的进水管，所述进水管的左端连通有换热盘管，所述换热盘管远离进水管的一端连通有出水管，所述壳体的上表面设置有数量不少于两个的散热翅片。

进一步，所述换热盘管设置在复合分子泵本体的外侧，所述进水管的外侧固定有控制阀。

进一步，所述壳体的右侧开设有供进水管贯穿的第一连通孔，所述第一连通孔与进水管间隙配合。

进一步，所述壳体内腔的右侧壁开设有供出水管贯穿的第二连通孔，所述第二连通孔与出水管间隙配合。

进一步，所述感应组件包括设置在壳体上表面的工业温度计，所述壳体的内顶壁安装有温度传感器。

进一步，所述风冷机构包括开设在壳体左侧的散热孔，所述散热孔的内部设置有第一挡尘网，所述壳体的右侧开设有风口，所述风口的内部设置有第二挡尘网，所述壳体内腔的右侧壁固定有两个风扇座，上下两侧所述风扇座相对的一侧之间设置有风扇。

进一步，所述散热孔的数量不少于两个，数量不少于两个的所述散热孔均匀分布在壳体的左侧面。