[实用新型]一种氯硅烷取样装置及取样系统

说明书

本实用新型公开了一种氯硅烷取样装置及取样系统，涉及多晶硅生产设备技术领域，取样装置，包括：阀体组件，阀体组件包括阀体、阀座、阀芯、阀盖和阀杆；阀体安装在阀座上，阀体内部和阀芯外部均设置有内衬层，阀体的内衬层内部开设有氯硅烷流动通道，氯硅烷流动通道上开设有氯硅烷取样口，阀芯活动装配在氯硅烷取样口上；取样组件，取样组件包括取样瓶和取样瓶连接器，取样瓶连接器顶部安装在阀座上，底部盖设在取样瓶的瓶口并完全遮挡瓶口；杠杆开关组件，杠杆开关组件安装在阀杆上。阀体内部和阀芯外部均设置有惰性材质的内衬层，取样瓶连接器也为惰性材质，惰性材质避免了金属材质与氯硅烷样品接触，减少金属杂质污染。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，更具体地说涉及一种氯硅烷取样装置及取样系统。

背景技术

在多晶硅的生产工艺中，只有更优的原料、中间产品才能产出更优的产品，从而提高市场竞争力。要稳定的生产产出高品质的多晶硅需要不断的对物料的各项标准进行优化。多晶硅生产过程中常需要对氯硅烷进行取样，对其组分（氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、高沸等）与杂质（硼、磷、铁、铬、镍、铜锌等）进行检测分析，用于指导生产进行工艺参数调整。目前送入还原工序中的精制料中的各种元素已经降至1ppb以下，部分元素已经降至亚ppt级别，取样过程中取样器引入的杂质甚至远远高于精制料中的金属杂质。另一方面，取样过程也是物料脱离密闭系统的点，物料与空气直接接触，造成安全事件，所以精制料等取样器显得尤为重要。

现有技术中，常采用以下的取样器对氯硅烷进行取样：

1、箱式密闭取样器，其物料管道均在密闭箱内，导致密闭箱内的取样阀门及管道腐蚀，进而导致取样污染，并存在管道锈蚀穿孔的风险，造成安全隐患。

2、面板式取样器，其不能防水、防尘，下雨及扬尘天气会导致样品污染。

另外，箱式密闭取样器和面板式取样器均采用316L材质的阀体，取样时一般先取一瓶废液，关闭阀门，再取正常样，再开启阀门的时候阀杆与阀体之间有摩擦，会导致样品中的铁铬镍偏高。

实用新型内容

为了克服上述现有技术中存在的缺陷，本实用新型的目的是提供一种氯硅烷取样装置及取样系统，以解决上述存在的阀门及管道腐蚀、样品污染、铁铬镍偏高等问题。

为了实现以上目的，本实用新型采用的技术方案：

一种氯硅烷取样装置，包括：

阀体组件，所述阀体组件包括阀体、阀座、阀芯、阀盖和阀杆；所述阀体安装在所述阀座上，阀体内部和阀芯外部均设置有惰性材质的内衬层，阀体的内衬层内部开设有氯硅烷流动通道，所述氯硅烷流动通道上开设有氯硅烷取样口，所述阀芯活动装配在所述氯硅烷取样口上；所述阀盖设置在所述阀体上方，所述阀杆滑动安装在所述阀盖内部，其底端与所述阀芯连接；

取样组件，所述取样组件包括取样瓶和惰性材质的取样瓶连接器，所述取样瓶连接器顶部安装在所述阀座上，底部盖设在所述取样瓶的瓶口并完全遮挡所述瓶口，取样瓶连接器内部设置有氯硅烷取样通道，所述氯硅烷取样通道顶端的进口与所述氯硅烷取样口连通，底端的出口与所述取样瓶的瓶口连通；

杠杆开关组件，所述杠杆开关组件安装在所述阀杆上并带动所述阀杆上下滑动进行氯硅烷取样。

优选的，所述阀体为不锈钢材质，其内部的内衬层为PFA材质，所述阀芯外部的内衬层和所述取样瓶连接器均为PTFE材质。

优选的，所述氯硅烷取样通道呈竖直的针筒型，其筒状通道上设置有氮气吹扫口，针状通道底部连通至所述取样瓶的瓶口。

优选的，所述取样瓶连接器底部设置有一缺口，所述氯硅烷取样通道连通至所述缺口，所述取样瓶的瓶口位于所述缺口内。