[实用新型]一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉有效
申请号: | 202320343894.9 | 申请日: | 2023-02-28 |
公开(公告)号: | CN219513121U | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
发明(设计)人: | 张靖;何飞;何其金 | 申请(专利权)人: | 扬州新瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/223;C30B31/10 |
代理公司: | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人: | 马垚 |
地址: | 225600 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 均匀 topcon 电池 生产 | ||
1.一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,包括扩散炉(1),所述扩散炉(1)底部设有四组支撑腿,四组支撑腿在所述扩散炉(1)底部呈矩形阵列分布,所述扩散炉(1)左侧壁通过转轴安装设有炉门(11),其特征在于:所述扩散炉(1)内设有隔板(4),所述隔板(4)右侧设有搅动机构(5),所述扩散炉(1)右侧壁贯穿连通设有第一进气管(2)和第二进气管(3),所述隔板(4)左侧设有出风套管(9),所述出风套管(9)底部设有均风板(12),所述扩散炉(1)顶部设有抽气泵(7),所述抽气泵(7)进气端连接设有抽气管(6),所述抽气管(6)一端位于扩散炉(1)内部,所述抽气泵(7)出气端连接设有出气管(8),所述出气管(8)一端与出风套管(9)内部相连通。
2.根据权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:所述均风板(12)顶部均开设有出风口(13),所述出风口(13)呈圆台状设置。
3.根据权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:所述出风套管(9)顶部左右两侧均设有连接杆(10),两组连接杆(10)一端均与扩散炉(1)内顶部相连接。
4.根据权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:所述抽气管(6)一端位于隔板(4)右侧。
5.根据权利要求1所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:所述搅动机构(5)包括隔板(4)右侧设有的搅动杆(54),所述搅动杆(54)一端贯穿扩散炉(1)内顶部与外部设有的从动齿轮(52)相连接,所述搅动杆(54)外壁均匀设有搅动片(53),所述搅动杆(54)顶部设有从动齿轮(52),所述扩散炉(1)顶部设有电机(50),所述电机(50)输出端连接设有与从动齿轮(52)相啮合的主动齿轮(51)。
6.根据权利要求5所述的一种扩散均匀的topcon电池片生产用扩散炉,其特征在于:所述扩散炉(1)顶部开设有通孔,所述搅动杆(54)外壁套接安装设有轴承,轴承与通孔内壁相匹配。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的