[实用新型]防静电二极管表面缺陷检测系统有效

专利信息
申请号: 202320328311.5 申请日: 2023-02-27
公开(公告)号: CN219573952U 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 张哲民;肖步文 申请(专利权)人: 无锡惠吉通半导体有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/01
代理公司: 无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569 代理人: 张姝
地址: 214000 江苏省无锡市惠山*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 静电 二极管 表面 缺陷 检测 系统
【权利要求书】:

1.防静电二极管表面缺陷检测系统,包括:

基座(1);

其特征在于,还包括:

旋转位(2),安装在基座(1)上,包括两组对称设置的旋转单元;

检测位(3),安装在基座(1)上,且工作区域面向旋转位(2);

所述旋转单元包括:

基础件,安装在所述基座(1)上;

延伸件,安装在所述基础件上;

旋转件,与所述延伸件连接,包括与延伸件连接的旋转电机(26),设置在所述旋转电机(26)输出端的旋转轴(27);

夹具(28),与所述旋转轴(27)连接。

2.根据权利要求1所述的防静电二极管表面缺陷检测系统,其特征是:所述基础件包括:

旋转立柱(21),安装在基座(1)上;

旋转台(22),安装在旋转立柱(21)上。

3.根据权利要求2所述的防静电二极管表面缺陷检测系统,其特征是:所述延伸件包括:

活动气缸(23),安装在旋转台(22)上,活动气缸(23)输出端设有活动伸缩杆(24);

旋转连接架(25),与活动伸缩杆(24)固定连接。

4.根据权利要求3所述的防静电二极管表面缺陷检测系统,其特征是:所述旋转电机(26)安装在旋转连接架(25)上。

5.根据权利要求1所述的防静电二极管表面缺陷检测系统,其特征是:所述检测位(3)包括:

基础部,安装在所述基座(1)上,包括检测立柱(31),以及安装在所述检测立柱(31)上的检测台(32);

一字滑台(33),安装在所述检测台(32)上;

检测连接架(34),设置在所述一字滑台(33)上,沿着一字滑台(33)滑动;

检测部,与所述检测连接架(34)连接。

6.根据权利要求5所述的防静电二极管表面缺陷检测系统,其特征是:所述检测部包括:

视觉采集器(35),与检测连接架(34)连接;

补光灯(36),与检测连接架(34)连接,位于视觉采集器(35)下方。

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