[实用新型]一种单晶炉下轴称重装置

权利要求书

1.一种单晶炉下轴称重装置，其特征在于，包括在竖直方向上连接在丝杠升降基座（4）与磁流体基座（10）之间的拉压力传感器（5），拉压力传感器（5）通过螺钉固定在磁流体基座（10）下方，丝杠升降基座（4）升降连接升降装置，磁流体基座（10）通过副滑动导轨副（6）滑动连接丝杠升降基座（4），磁流体基座（10）上装有相互连接的旋转装置和坩埚组件。

2.如权利要求1所述的一种单晶炉下轴称重装置，其特征在于，所述的升降装置包括丝杠螺母（2）、丝杠（9）及主滑动导轨副（3），主滑动导轨副（3）沿固定基座（1）垂直长度方向设置，丝杠升降基座（4）滑动连接主滑动导轨副（3），丝杠（9）平行设置在两侧主滑动导轨副（3）之间且顶部连接转动驱动装置，丝杠螺母（2）安装在丝杠（9）上且连接丝杠升降基座（4）。

3.如权利要求1或2所述的一种单晶炉下轴称重装置，其特征在于，所述的旋转装置包括安装在磁流体基座（10）侧面的相互连接的埚转电机（11）和减速器（12），减速器（12）输出端设小带轮（13），坩埚组件具体包括穿过磁流体（15）的坩埚轴组件（16），磁流体（15）固定在磁流体基座（10）上，坩埚轴组件（16）底端设大带轮（14）、顶端设石墨托杆（17），石墨托杆（17）上方连接硅料盛放装置，小带轮（13）与大带轮（14）通过同步带连接。