[实用新型]石英管清洗架、石英管清洗底架以及石英管清洗组装架

说明书

提供一种石英管清洗架、石英管清洗底架以及石英管清洗组装架。石英管清洗架包括主板体、第一支撑板体、第二支撑板体、多个支杆。主板体具有沿厚度方向的相反的第一表面和第二表面和与厚度方向垂直的左右方向的第一端部和第二端部。第一支撑板体立设于主板体的第一表面且位于第一端部。第二支撑板体设于主板体的第二表面并位于第二端部。多个支杆并排设置在第二支撑板体上并与主板体并行，支杆用于供待清洗的石英管套在其上。石英管清洗底架包括基板体、第一支板、第二支板、第三支板以及多个支撑杆。石英管清洗架、石英管清洗底架的一个或多个可构成叠置放置形式。石英管清洗组装架包括前述的石英管清洗架以及前述的石英管清洗底架。

技术领域

本公开涉及石英管领域，更具体地涉及一种石英管清洗架、石英管清洗底架以及石英管清洗组装架。

背景技术

石英管是半导体材料制备过程中常用的样品架管料，其纯度高、有害杂质少、耐高温、耐腐蚀、热膨胀系数小。清洗石英管料时，可采用高浓度酸浸泡清洗，以达到污渍的充分去除，同时在其较好的热稳定性下，不易加热炸裂。石英管清洗烘干过程中，由于管料易碎、人工拿取需格外小心，致使清洗烘干步骤繁琐且工时长。因此石英管在清洗和烘干作业中往往事倍功半。

于2014年6月18日公布的中国发明专利申请公布号CN103861684A公开了一种试管清洗架，试管清洗架通过在侧板上设置喷头、进水口和进风口，在侧板内部设置管道，可以批量清洗、晾干试管，而无需收纳整理试管。该专利文献解决的试管清洗晾干的手动人工问题，但是由于侧板垂直设置在底板上以使侧板和底板呈L型且处于侧板顶部的喷头向上超出侧板，故这种试管清洗架不能叠置放置(即两个或更多个试管清洗架在侧板延伸的方向上叠置放置)，在同样的底板面积的情况下无法进一步增加清洗和晾干的效率。

于2020年10月2日公布的中国发明专利申请公布号CN111729707A公开了一种具有快速烘干功能的可折叠滴水架，包括支撑座和悬挂架，悬挂架包括连接座、支撑杆和转轴，悬挂架可以折叠，方便可折叠滴水架的收纳。在该专利文献的技术中，支撑座呈倒T型，悬挂架设置在支撑座的竖直的壁的侧面，处于悬挂架的竖直的壁的顶部处的悬挂架能够提供折叠而不超出竖直的壁的顶部，但是这种可折叠滴水架因为倒T型结构同样不能叠置放置(即两个或更多个可折叠滴水架在竖直的壁的延伸方向上叠置放置)，在同样的支撑座的水平的壁的面积的情况下无法进一步烘干的效率。

实用新型内容

鉴于背景技术中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种石英管清洗架、石英管清洗底架以及石英管清洗组装架，其能实现石英管清洗架的叠置放置以提高清洗和烘干的效率。

由此，提供一种石英管清洗架，包括主板体、第一支撑板体、第二支撑板体、多个支杆。主板体具有沿主板体的厚度方向的相反的第一表面和第二表面和沿主板体的与厚度方向垂直的左右方向的第一端部和第二端部。第一支撑板体立设于主板体的第一表面且位于第一端部。第二支撑板体设于主板体的第二表面并位于第二端部。多个支杆并排设置在第二支撑板体上并与主板体并行，支杆用于供待清洗的石英管套在其上。

此外，提供一种石英管清洗底架，包括基板体、第一支板、第二支板、第三支板以及多个支撑杆。基板体具有沿基板体的厚度方向的彼此相反的第一面和第二面和沿基板体的与厚度方向垂直的左右方向的第一端和第二端。第一支板立设于基板体的第一面且位于第一端。第二支板立设于基板体的第二面并位于第二端。第三支板立设于基板体的第一面并位于第二端。多个支撑杆并排设置在第二支板上并与基板体并行，支撑杆用于供待清洗的石英管套在其上。