[实用新型]一种金属有机化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种金属有机化学气相沉积设备，包括炉体、原料仓、尾气管道和尾气吸收罐，所述原料仓与所述炉体固定连接，并位于所述炉体一侧，所述尾气管道与所述炉体可拆卸连接，并位于所述炉体一侧，所述尾气吸收罐与所述尾气管道可拆卸连接，并位于所述尾气管道远离所述炉体一侧，其特征在于，

还包括气密装置；

所述气密装置包括定位圆环、移动圆环、移动组件、固定组件和辅助组件，所述定位圆环与所述炉体固定连接，并与所述尾气管道抵接，所述移动圆环通过所述移动组件与所述炉体连接，所述固定组件分别设置在所述定位圆环和所述移动圆环上，所述辅助组件分别设置在所述定位圆环和所述移动圆环上。

2.如权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，

所述移动组件包括移动轨道和凸形滑块，所述移动轨道与所述炉体固定连接，并位于所述炉体一侧；所述凸形滑块与所述移动轨道滑动连接，并与所述移动圆环固定连接。

3.如权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，

所述固定组件包括定位板、抵接板和锁紧构件，所述定位板与所述定位圆环固定连接，并位于所述定位圆环一侧；所述抵接板与所述移动圆环固定连接，并位于所述移动圆环一侧。

4.如权利要求3所述的金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，

所述锁紧构件包括螺纹杆和锁紧螺母，所述螺纹杆与所述定位板固定连接，并与所述抵接板滑动连接；所述锁紧螺母与所述螺纹杆螺纹连接，并与所述抵接板抵接。

5.如权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，

所述辅助组件包括第一密封垫和第二密封垫，所述第一密封垫与所述定位圆环固定连接，并位于所述定位圆环靠近所述尾气管道一侧；所述第二密封垫与所述移动圆环固定连接，并位于所述移动圆环靠近所述尾气管道一侧。