[实用新型]多波长相干成像装置

权利要求书

1.一种多波长相干成像装置，其特征在于，包括：

发光装置，用于发射多种窄带光；

超透镜，其配置为将来自所述发光装置的所述多种窄带光至少部分地调制为准直光并以同一射束出射；

偏振器，其配置为将经所述超透镜调制的光偏振；

偏振干涉模块，其以迈克尔逊干涉仪的方式构成，借助所述偏振干涉模块将所述偏振器出射的偏振光分束为探测波和参考波，然后使探测波所对应的探测回波与所述参考波所对应的参考回波发生干涉形成合成波，从而进行成像。

2.根据权利要求1所述的多波长相干成像装置，其特征在于，所述超透镜被配置为将来自所述发光装置的所述多种窄带光全部调制为准直光并以同一射束出射。

3.根据权利要求2所述的多波长相干成像装置，其特征在于，所述超透镜包括多个纳米结构单元，所述纳米结构单元包括基底和设置在所述基底上的纳米结构，所述超透镜的相位分布满足下式：

其中，λ为入射光的波长，x为纳米结构沿x轴方向与基底中心的距离，y为纳米结构沿y轴方向与基底中心的距离，r、g、b为别对应发光装置发射的窄带光，θ为超透镜中心点到发光装置的发光点在超透镜表面上投影向量与所述x轴正方向的夹角，所述α是发光装置的发光点到超透镜中心点的连线与超透镜所在平面法线的夹角；所述f为超透镜在任一波长下的焦距。

4.根据权利要求1所述的多波长相干成像装置，其特征在于，所述偏振干涉模块包括：

偏振分光镜，被配置为将经所述偏振器偏振的光中的第一偏振态的光至少部分反射形成探测波，并且将经所述偏振器偏振的光中的第二偏振态的光至少部分透射形成参考波；

参考镜，被配置为将所述参考波反射形成参考回波；

物镜，被配置为将所述探测波会聚至被测对象以及接收从被测对象反射或散射的探测回波；其中所述探测回波与所述参考回波在所述偏振分光镜中干涉形成合成波；

目镜，被配置为会聚所述合成波。

5.根据权利要求4所述的多波长相干成像装置，其特征在于，所述参考镜包括四分之一波片和聚焦透镜；和/或

所述物镜包括四分之一波片和聚焦透镜；和/或

所述目镜包括四分之一波片和聚焦透镜。

6.根据权利要求5所述的多波长相干成像装置，其特征在于，所述四分之一波片为消色差四分之一波片；和/或

所述聚焦透镜为聚焦超透镜。

7.根据权利要求6所述的多波长相干成像装置，其特征在于，所述聚焦超透镜为消色差超透镜。

8.根据权利要求1所述的多波长相干成像装置，其特征在于，所述发光装置中的多个光源关于所述超透镜的几何中心等距离排布，且所述多个光源处于平行于所述超透镜的表面的同一平面内。

9.根据权利要求8所述的多波长相干成像装置，其特征在于，所述发光装置包括红光源、绿光源和蓝光源，且所述红光源、绿光源和蓝光源呈等边三角形设置。

10.根据权利要求4所述的多波长相干成像装置，其特征在于，所述多波长相干成像装置还包括控制单元和载物台；

所述参考镜还包括参考用反射镜；

所述控制单元用于分别控制所述载物台和所述参考用反射镜的移动，以动态测量所述被测对象。