[实用新型]一种硅片排片吸料装置有效

专利信息
申请号: 202320218561.3 申请日: 2023-02-15
公开(公告)号: CN219246655U 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 郑亮华;刘智敏;黄淑虎;魏永跃 申请(专利权)人: 江西玖匠科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 代理人: 吴盼盼
地址: 334000 *** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 排片吸料 装置
【权利要求书】:

1.一种硅片排片吸料装置,包括支架(1),其特征在于:所述支架(1)上滑动连接有支撑杆(2),所述支撑杆(2)的底部固定安装有安装座(3),所述安装座(3)的底部固定安装有真空吸盘(4),所述真空吸盘(4)的顶部设置有气孔(5),所述气孔(5)固定连通有抽真空泵,所述真空吸盘(4)上设置有电子气阀(6),所述安装座(3)的两侧固定连接有固定块(7),所述固定块(7)上固定安装有吹扫风管(8),所述吹扫风管(8)的一侧设置有吹扫风口(9),所述吹扫风口(9)固定连通有气泵,所述支架(1)的下方设置有托盘槽(10),所述托盘槽(10)中放置有托盘(11),所述托盘(11)上放置有若干的硅片(12)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片排片吸料装置,其特征在于:所述支架(1)的一端固定安装有电机(13),所述电机(13)的输出轴上通过联轴器固定连接有螺纹杆(14)的一端,所述支架(1)的底部开设有滑槽(15),所述螺纹杆(14)的另一端转动安装于所述滑槽(15)的内壁上,所述螺纹杆(14)上螺纹安装有滑块(16),所述滑块(16)上安装有升降装置,所述升降装置上固定连接有所述支撑杆(2)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片排片吸料装置,其特征在于:所述升降装置包括固定安装于所述滑块(16)上的电动推杆(17),所述电动推杆(17)的活塞杆上固定连接有所述支撑杆(2)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片排片吸料装置,其特征在于:所述吹扫风口(9)上下两端固定安装有固定板(18),所述固定板(18)中滑动安装有移动板(19)和调节装置,所述移动板(19)的顶端设置有导风板(20)。

5.根据权利要求4所述的一种硅片排片吸料装置,其特征在于:所述调节装置包括固定开设在所述固定板(18)上移动槽(21),所述移动槽(21)中按动安装有固定螺栓(22),所述固定螺栓(22)的一端螺纹贯穿于所述移动板(19)并贴合于所述移动槽(21)的内壁上。

6.根据权利要求1所述的一种硅片排片吸料装置,其特征在于:还包括安装在所述支架(1)下方的输送带(23),所述输送带(23)连接于自动硅片排片装置。

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