[实用新型]一种硅片排片吸料装置有效
申请号: | 202320218561.3 | 申请日: | 2023-02-15 |
公开(公告)号: | CN219246655U | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 郑亮华;刘智敏;黄淑虎;魏永跃 | 申请(专利权)人: | 江西玖匠科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人: | 吴盼盼 |
地址: | 334000 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 排片吸料 装置 | ||
1.一种硅片排片吸料装置,包括支架(1),其特征在于:所述支架(1)上滑动连接有支撑杆(2),所述支撑杆(2)的底部固定安装有安装座(3),所述安装座(3)的底部固定安装有真空吸盘(4),所述真空吸盘(4)的顶部设置有气孔(5),所述气孔(5)固定连通有抽真空泵,所述真空吸盘(4)上设置有电子气阀(6),所述安装座(3)的两侧固定连接有固定块(7),所述固定块(7)上固定安装有吹扫风管(8),所述吹扫风管(8)的一侧设置有吹扫风口(9),所述吹扫风口(9)固定连通有气泵,所述支架(1)的下方设置有托盘槽(10),所述托盘槽(10)中放置有托盘(11),所述托盘(11)上放置有若干的硅片(12)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片排片吸料装置,其特征在于:所述支架(1)的一端固定安装有电机(13),所述电机(13)的输出轴上通过联轴器固定连接有螺纹杆(14)的一端,所述支架(1)的底部开设有滑槽(15),所述螺纹杆(14)的另一端转动安装于所述滑槽(15)的内壁上,所述螺纹杆(14)上螺纹安装有滑块(16),所述滑块(16)上安装有升降装置,所述升降装置上固定连接有所述支撑杆(2)。
3.根据权利要求2所述的一种硅片排片吸料装置,其特征在于:所述升降装置包括固定安装于所述滑块(16)上的电动推杆(17),所述电动推杆(17)的活塞杆上固定连接有所述支撑杆(2)。
4.根据权利要求1所述的一种硅片排片吸料装置,其特征在于:所述吹扫风口(9)上下两端固定安装有固定板(18),所述固定板(18)中滑动安装有移动板(19)和调节装置,所述移动板(19)的顶端设置有导风板(20)。
5.根据权利要求4所述的一种硅片排片吸料装置,其特征在于:所述调节装置包括固定开设在所述固定板(18)上移动槽(21),所述移动槽(21)中按动安装有固定螺栓(22),所述固定螺栓(22)的一端螺纹贯穿于所述移动板(19)并贴合于所述移动槽(21)的内壁上。
6.根据权利要求1所述的一种硅片排片吸料装置,其特征在于:还包括安装在所述支架(1)下方的输送带(23),所述输送带(23)连接于自动硅片排片装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造