[实用新型]一种研磨设备的气静压定位平台有效
| 申请号： | 202320160098.1 | 申请日： | 2023-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN219075345U | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 赵康 | 申请（专利权）人： | 苏州翠竹半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 朱世新 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 设备 静压 定位 平台 | ||
1.一种研磨设备的气静压定位平台，其特征在于，包括：
底座(16)，所述底座(16)上表面安装有静压驱动组件；
支撑组件，所述支撑组件置于静压驱动组件上表面；
同步定位组件，所述同步定位组件置于支撑组件上并实现工件在支撑组件中心处的固定。
2.根据权利要求1所述的一种研磨设备的气静压定位平台，其特征在于：所述静压驱动组件包括静压转台(1)和进气室(17)，所述静压转台(1)安装在底座(16)表面，所述进气室(17)置于底座(16)左侧面。
3.根据权利要求1所述的一种研磨设备的气静压定位平台，其特征在于：所述支撑组件包括支撑板(2)，所述支撑板(2)表面的四组垫片(14)和四组条形槽(10)，所述支撑板(2)上表面中部设有圆槽(9)。
4.根据权利要求3所述的一种研磨设备的气静压定位平台，其特征在于：所述同步定位组件包括丝杆(6)以及与丝杆(6)传动连接的丝杆螺母(12)，所述丝杆(6)表面套接第一轴承(7)和第二轴承(11)，且第一轴承(7)和第二轴承(11)置于条形槽(10)内部，所述丝杆螺母(12)表面安装有夹块(4)，且夹块(4)下表面嵌入有与支撑板(2)滚动连接的万向珠(13)，所述丝杆(6)端部安装有第一锥齿轮(8)，所述圆槽(9)内部安装有与第一锥齿轮(8)啮合的第二锥齿轮(15)。
5.根据权利要求4所述的一种研磨设备的气静压定位平台，其特征在于：所述丝杆(6)端部固定连接有手轮(3)。
6.根据权利要求4所述的一种研磨设备的气静压定位平台，其特征在于：所述夹块(4)表面安装有保护垫片(5)。
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