[实用新型]焊枪

说明书

一种焊枪包括环体和多个喷嘴；环体为360度圆周的封闭环，环体具有第一流道、第一端口、第二端口、第二流道、第三端口以及内周面；第一流道位于环体的内部，第一端口和第二端口设置于环体的外表，第一端口和第二端口与第一流道连通，第一端口和第二端口用于与外部的冷却介质源连通；第二流道位于环体的内部，第三端口设置于环体的外表，第三端口与第二流道连通，第三端口用于与外部的燃烧气体源连通；多个喷嘴设置在环体的内周面且沿周向彼此间隔开，多个喷嘴与第二流道连通，多个喷嘴用于供经由第三端口和第二流道流入的燃烧气体从各自的喷嘴径向向内喷出以被点燃形成火焰以至少适用于石英管焊接封管。故能整圈焊接、避免回火、甚至爆裂。

技术领域

本公开涉及焊接领域，更具体地涉及一种焊枪。

背景技术

半导体材料在晶体生长中(如砷化镓、磷化铟、锗、锑化铟等)需要石英器件为载体来装载坩埚和提高真空环境。目前常用的石英器件包括石英管和石英封泡(参照图1和图2)。为使石英管载体内形成真空状态，采用分子泵等真空设备抽去石英管内的空气并达到晶体生长所需的真空环境，然后用氢氧焰加热使石英管和石英封泡连接一起，使石英管载体内密封的真空状态。

为了提高焊接效率，于2018年2月23日授权公告的中国实用新型专利申请授权公告号CN207031258U公开了一种用于圆形石英管封口的氢氧焰喷嘴，其本质为扇形焊枪，氧气导管为弯管，氢气导管为直管，氢氧气混合管为圆弧形，氢氧气混合管与氢气导管和氢气导管相连通，且氢氧气混合管在一侧布置有10-15个火焰喷嘴，这种焊枪不能在石英管的整周上同时进行石英管密封。

于2021年2月26日公布的中国发明专利申请公布号CN112408761A公开了一种焊接装置，其中，焊枪包括焊接环及设置在焊接环的内侧的若干焊枪嘴(统称为喷嘴)，若干焊枪嘴均与焊接环相连通，若干焊枪嘴之间限定出焊接区域，供气组件用于为焊接环供气，供气组件包括燃气进气口和助燃气进气口；供气组件和焊枪能够绕焊接环的中心轴转动。基于焊接环的设置，焊枪能够在石英管的整周上同时进行石英管密封，第一进气管、第二进气管供给燃烧气体的组分并在进气总管进行混合。

基于上述两篇专利文献公开的技术，在石英管封管过程中，各喷嘴的火焰将以一定的速度和压力将热气流施加给石英管以使石英管与石英封泡之间的焊接部位被加热熔融，而该焊接部位处的石英管会将该热气流向氢氧气混合管/焊接环和各喷嘴反射，同时，由于石英管因自身材质的良好导热性能会以热辐射方式将所接收的热再进行导热，这种热辐射同样会存在辐射到氢氧气混合管/焊接环和各喷嘴的部分，这样，氢氧气混合管/焊接环和各喷嘴所受到的前述来自反射的热气流和辐射的热在焊接时间上(针对单个石英管的焊接封管或焊枪连续工作来针对大批量的石英管接续地进行焊接封管)累积后会导致氢氧气混合管/焊接环过热、各喷嘴过热。若各喷嘴过热，各喷嘴会发生膨胀变形，致使各喷嘴内的燃烧气体的流速减小，使得各喷嘴处的火焰发生回火甚至在各喷嘴内发生爆炸导致各喷嘴爆裂，同样地，若氢氧气混合管/焊接环过热，氢氧气混合管/焊接环内部的混合的燃烧气体的流道同样会发生膨胀变形而缩窄，致使流道内的燃烧气体的流速减小、进而使得各喷嘴处的燃烧气体的流速减小，产生前述的回火、甚至爆裂，这种回火或爆裂一方面会影响焊枪的工作稳定性和使用寿命，另一方面会影响单个石英管与石英封泡之间的焊接部位的焊接质量、焊接效率以及批量石英管的焊接效率。

此外，基于上述两篇专利文献公开的技术，氢气与氧气一起通进氢氧气混合管/进气总管内，只是简单的混合一起，这会导致氢氧焰的燃烧并不充分，不利于保证火焰的温度，进而不利于提高石英管焊接封管的焊接质量和焊接效率。

实用新型内容

鉴于背景技术中存在的问题，本公开的目的在于提供一种焊枪，其能围绕石英管与石英封泡之间的焊接部位进行整圈的焊接、能够避免环体和各喷嘴过热导致的回火、甚至爆裂的风险、保证单个石英管焊接封管的焊接效率和批量石英管焊接封管的焊接效率。