[实用新型]一种扩散炉炉口用密封法兰

说明书

本实用新型涉及炉口密封技术领域，具体提供了一种扩散炉炉口用密封法兰，所述密封法兰包括法兰板和第一法兰环、第二法兰环，第一法兰环连接第二法兰环，所述第一法兰环与第二法兰环之间设置有第一密封环，所述第二法兰环与法兰板之间设置有第二密封环；所述第一法兰环与第一密封环之间设置有第一固定件，所述第一密封环与第二密封环之间设置有第二固定件，所述第二密封环与法兰板之间设置有第三固定件；密封法兰可被拆解分成多段，降低更换维护成本；第一密封环和第二密封环的设计，能够增加密封法兰局部结构之间连接的密封性；第一固定件、第二固定件、第三固定件的设计，能够增加密封法兰局部结构之间连接的可靠性。

技术领域

本实用新型涉及炉口密封技术领域，具体涉及一种扩散炉炉口用密封法兰。

背景技术

扩散炉广泛应用于电力电子器件、半导体器件和晶体硅太阳能电池制造，通过在硅片表面掺杂磷或硼制备PN结。PN结制备是器件和太阳能制造的核心工艺，其优劣直接决定着产品质量的好坏。

随着器件制造业的发展，尤其是晶体硅太阳能电池高转换效率方向发展，传统的常压扩散工艺已经很难满足浅结高方阻的工艺需求，掺杂均匀性无法满足先进电池工艺路线的技术需求。减压扩散通过真空系统在石英管内形成负压条件，增加分子的自由行程，提高硅片表面掺杂均匀性；掺杂原子可快速排空，利于减少表面复合、降低掺杂源耗，是低成本高效率晶体硅电池扩散工艺发展的主流趋势，是实现先进电池制造的最佳途径。减压扩散工艺过程中反应管内部要求处在高温低压环境，炉口密封性能得不到保障将造成难以形成减压扩散所需的低压环境，在压差的作用下含有杂质的空气进入反应管导致产品报废，反应管污染等严重后果。反应管内部温度较高，热量通过辐射和传导方式作用于密封关键部件O形橡胶密封圈，能够加速其老化速度，最终造成密封失效，大幅度缩短设备维护周期，降低生产效率，增大设备运行成本。同时，大量热量在炉口通过传导和辐射等方式的散失，可能引起温度场在炉口的扰动，影响反应管恒温区的长度和精度，导致成品率降低，能耗的增大；所述需要在扩散炉炉口出设置密封法兰实现炉体密封。

现有技术中的密封法兰多为整体结构，当密封法兰局部损坏时需要整体更换，增大更换维护成本。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种扩散炉炉口用密封法兰，用于解决现有技术中密封法兰多为整体结构，当密封法兰局部损坏时需要整体更换，增大更换维护成本的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种扩散炉炉口用密封法兰，所述密封法兰包括法兰板和第一法兰环、第二法兰环，第一法兰环连接第二法兰环，第二法兰环连接法兰板；所述密封法兰通过第一法兰环连接在扩散炉炉口上；

所述第一法兰环与第二法兰环之间设置有第一密封环，所述第二法兰环与法兰板之间设置有第二密封环；

所述第一法兰环与第一密封环之间设置有第一固定件，用于固定第一法兰环与第一密封环之间的连接；

所述第一密封环与第二密封环之间设置有第二固定件，用于固定第一密封环与第二密封环之间的连接；

所述第二密封环与法兰板之间设置有第三固定件，用于固定第二密封环与法兰板之间的连接。

于本实用新型的一实施例中，所述第三固定件为L型，L型第三固定件的两端分别连接在第二密封环和法兰板上。

于本实用新型的一实施例中，所述第三固定件的两端分别通过紧固件对应连接在第二法兰环和法兰板上。

于本实用新型的一实施例中，所述第三固定件设置有多个，多个第三固定件等距环设在第二密封环与法兰板的连接处。

于本实用新型的一实施例中，所述第一密封环至少设置有两个，多个第一密封环通过相邻并列在第一法兰环与第二法兰环之间。