[实用新型]一种退火炉快速自动降温装置

说明书

本实用新型公开了一种退火炉快速自动降温装置，包括炉体，所述炉体的内部固定连接有炉腔，所述炉体的下表面固定连接有水冷箱，所述炉体的下表面位于水冷箱的两侧均固定连接有风冷箱；热量利用机构，所述热量利用机构包括热量箱，且热量箱与炉体的上表面固定连接，所述热量箱的侧表面固定连接有管体，且管体与炉体连接，所述热量箱的内部固定连接有导热板。通过上述结构，可将外界的水倒进热量箱内，当退火炉在降温时，炉体内的热量可通过管体进行热量箱内，利用导热板可将管体排放进行热量进行传递对热量箱内的水进行加热，从而可对退火炉内的热量进行收集利用。

技术领域

本实用新型涉及自动降温装置技术领域，特别涉及一种退火炉快速自动降温装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，而退火炉的保温性能较好，使器件在加热完成后，退火炉无法快速降温容易影响器件的加工质量，为了防止器件加热后受热量影响出现质量问题，因此快速自动降温装置是退火炉必不可少的一部分，而快速自动降温装置通常采用水冷与风冷结合对退火炉进行降温，而退火炉的热量直接排出，无法对退火炉内的热量进行收集利用，从而造成了热量的浪费，如专利主题“一种退火炉快速自动降温装置”，申请号“201821156600.7”，设有风冷装置和水冷装置，通过热电偶检测炉内温度，温度达到目标值后启动冷却系统，但是无法对退火炉内的热量进行收集利用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种退火炉快速自动降温装置，可将外界的水倒进热量箱内，当退火炉在降温时，炉体内的热量可通过管体进行热量箱内，利用导热板可将管体排放进行热量进行传递对热量箱内的水进行加热，从而可对退火炉内的热量进行收集利用。

本实用新型还提供具有上述一种退火炉快速自动降温装置，包括：炉体，所述炉体的内部固定连接有炉腔，所述炉体的下表面固定连接有水冷箱，所述炉体的下表面位于水冷箱的两侧均固定连接有风冷箱；热量利用机构，所述热量利用机构包括热量箱，且热量箱与炉体的上表面固定连接，所述热量箱的侧表面固定连接有管体，且管体与炉体连接，所述热量箱的内部固定连接有导热板，可将外界的水倒进热量箱内，当退火炉在降温时，炉体内的热量可通过管体进行热量箱内，利用导热板可将管体排放进行热量进行传递对热量箱内的水进行加热，从而可对退火炉内的热量进行收集利用。

根据所述的一种退火炉快速自动降温装置，所述风冷箱的内部固定连接有风机，启动风机可对炉体进行风冷降温的目的。

根据所述的一种退火炉快速自动降温装置，所述风冷箱的内部位于风机的左侧固定连接有风管，且风管远离风冷箱的一端延伸进入炉体的内部，当风机在使用时，可通过风管将风吹进炉体内进行使用。

根据所述的一种退火炉快速自动降温装置，所述水冷箱的内部固定连接有水泵，所述水泵的输出端固定连接有水冷管，且水冷管与炉腔的表面固定连接，所述水冷管远离水泵的一端延伸进入水冷箱的内部，启动水泵可对水冷箱内的水排放进水冷管内对炉体起到水冷的目的。

根据所述的一种退火炉快速自动降温装置，所述水冷箱的前表面固定连接有水管，通过水管方便将外界的水倒进水冷箱内使用。

根据所述的一种退火炉快速自动降温装置，所述水冷箱的前表面位于水管的两侧均固定连接有机盒，所述机盒的内部固定连接有半导体制冷器，启动半导体制冷器可对水冷箱内的水进行制冷。

根据所述的一种退火炉快速自动降温装置，所述风冷箱的侧表面固定连接有通风网，利用通风网使风机方便对外界空气进行抽取使用。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步地说明；

图1为本实用新型一种退火炉快速自动降温装置的内部结构示意图；