[实用新型]一种托盘固定装置有效

专利信息
申请号: 202320064412.6 申请日: 2023-01-09
公开(公告)号: CN219085926U 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 张茂辉;栗宽 申请(专利权)人: 国仪量子(合肥)技术有限公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;H01J37/28
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 张娜
地址: 230088 安徽省合肥市高新区创*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 托盘 固定 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种托盘固定装置,所述托盘固定装置包括:第一安装件,所述第一安装件适于安装于电子显微镜的底部;升降台,所述升降台包括卡接部和安装部,所述卡接部与所述安装部相连,所述安装部可活动地安装于所述第一安装件;第二安装件,所述第二安装件设有卡合槽,所述卡接部适于滑动卡接至所述卡合槽内,所述第二安装件用于安装样品托;弹性组件,所述弹性组件与所述安装部相连且用于施加将所述卡接部与所述卡合槽贴紧的弹性力。本实用新型便于操作和安装,固定性能提高,直接将衔接台及样品托推入扫描电镜内,使衔接台的卡合槽和承载台的卡接部结合,即可完成锁固。

技术领域

本实用新型涉及扫描电子显微镜技术领域,尤其是涉及一种托盘固定装置。

背景技术

扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。

目前,扫描电子显微镜在使用时,需要将样品放在托盘上,然后将托盘送入到扫描电子显微镜内,再进行后续的扫描工作等。

但是,由于托盘送入到扫描电子显微镜内后,无固定机构,当设备运行时,产生的震动对托盘存在很大的干扰,导致无法正常工作,所以需要固定机构进行固定,但是现有的固定机构,不便于操作,使用非常麻烦,且降低操作效率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型的一个目的在于提出一种托盘固定装置,便于操作和安装,固定性能提高,直接将衔接台及样品托推入扫描电镜内,使衔接台的卡合槽和承载台的卡接部结合,即可完成锁固。

根据本实用新型实施例的托盘固定装置,包括:第一安装件,所述第一安装件适于安装于电子显微镜的底部;升降台,所述升降台包括卡接部和安装部,所述卡接部与所述安装部相连,所述安装部可活动地安装于所述第一安装件;第二安装件,所述第二安装件设有卡合槽,所述卡接部适于滑动卡接至所述卡合槽内,所述第二安装件用于安装样品托;弹性组件,所述弹性组件与所述安装部相连且用于施加将所述卡接部与所述卡合槽贴紧的弹性力。

通过该方案,第一安装件上的升降台包括卡接部和安装部,且安装部设有弹性组件,第二安装件设有与卡接部匹配的卡合槽,第二安装件的卡合槽卡设在卡接部的外部,通过第一安装件的弹性组件给卡接部和卡合槽贴紧的弹性力,使得卡合槽在卡紧卡接部时,带动第一安装件上的升降台向上移动,达到第一安装件和第二安装件的紧固,本实用新型实施例便于操作和安装,固定性能提高。

根据本实用新型实施例的托盘固定装置,所述第一安装件设有安装孔,所述安装部穿设于所述安装孔,所述安装部的一端与所述卡接部相连且另一端连接有所述弹性组件,所述弹性组件弹性抵压于所述安装部与所述第一安装件之间。

根据本实用新型实施例的托盘固定装置,所述弹性组件包括弹性件和锁片,所述安装部的另一端的外周壁设有固定槽,所述锁片卡接于所述固定槽内,所述弹性件弹性抵压于所述锁片与所述第一安装件之间。

根据本实用新型实施例的托盘固定装置,所述锁片构造为环形片,且所述环形片的内周边缘卡接至所述固定槽内;所述弹性件包括环形部和连接于所述环形部内的弹性耳片,所述弹性耳片为多个且沿周向间隔开连接于所述环形部的内周壁,所述环形部与所述第一安装件贴合相抵,且所述弹性耳片沿所述环形部的径向延伸且沿轴向倾斜以与所述锁片相抵。

根据本实用新型实施例的托盘固定装置,所述锁片具有变形口。

根据本实用新型实施例的托盘固定装置,所述第一安装件还设有安装腔,所述安装腔形成于所述第一安装件背离所述卡接部的一侧,且所述安装腔与所述安装孔连通,所述弹性组件位于所述安装腔内且与所述安装腔的内上壁弹性抵压。

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