[发明专利]一种三氟化氯泄漏预测系统及方法

说明书

本发明公开了一种三氟化氯泄漏预测系统及方法。所述系统包括：预测控制器，与所述预测控制器分别连接的三氟化氯容置腔、容置腔入口压力传感器、容置腔压力传感器、容置腔入口流速传感器、容置腔入口温度传感器、警报装置。所述预测控制器通过建立三氟化氯在容置腔内的状态预测模型获取状态预测值，并基于状态预测值与预设的阈值进行比较，判断是否存在泄漏风险。

技术领域

本发明属于智能检测技术领域，具体涉及一种三氟化氯泄漏预测系统及方法。

背景技术

三氟化氯是一种氧化性极强的芯片刻蚀清洗剂，它能与大多数 有机材料和无机材料甚至金属材料反应，可以使许多材料发生剧烈燃烧，在某些情况下甚至会爆炸。由于三氟化氯特殊的氧化性，对其存储容器、输送管线的密封和防泄漏都有严苛的要求，一旦三氟化氯泄漏并扩散，将会引发重大的安全事故。所以，能够准确预测三氟化氯泄漏事件的系统和方法，能够起到及早避免或发现安全事故，有效减小生命财产损失的重要作用。

但是，现有技术中，对于三氟化氯的泄漏通常采用实时检测设备变量，以及时发现泄漏事件，但是并不能实现预测功能。一些能够实现泄漏预测的现有技术，也很难同时满足准确性和及时性的性能要求。

因此，如何克服现有技术的缺陷，提供一种能够实现准确及时预测三氟化氯的泄漏的系统及方法，成为本技术领域亟待解决的课题。

发明内容

为克服上述现有技术的不足，本发明提供了一种三氟化氯泄漏预测系统及方法，具体采用如下技术方案：

一种三氟化氯泄漏预测系统，所述系统包括：预测控制器，与所述预测控制器分别连接的三氟化氯容置腔、容置腔入口压力传感器、容置腔压力传感器、容置腔入口流速传感器、容置腔入口温度传感器、警报装置；

所述三氟化氯容置腔用于容置三氟化氯；

所述容置腔入口压力传感器用于检测容置腔入口的三氟化氯压力值；

所述容置腔压力传感器用于检测容置腔内的三氟化氯压力值；

所述容置腔入口流速传感器用于检测容置腔入口的三氟化氯流速；

所述容置腔入口温度传感器用于检测容置腔入口的三氟化氯温度；

所述预测控制器包括稳态模型建立单元、过往数据序列生成单元、加工数据序列获取单元、状态预测模型建立单元、预测判断单元；

所述稳态模型建立单元，用于建立三氟化氯在容置腔内的稳态模型；

所述过往数据序列生成单元，用于基于所述三氟化氯在容置腔内的稳态模型，获取过往数据序列；

所述加工数据序列获取单元，用于基于所述过往数据序列，获得加工数据序列；

所述状态预测模型建立单元，用于建立三氟化氯在容置腔内的状态预测模型；

所述预测判断单元，用于基于状态预测值与预设的阈值进行比较，判断是否存在泄漏风险；

所述警报装置用于在判断存在泄漏风险时发出警报。

进一步，所述建立三氟化氯在容置腔内的稳态模型如下：

式中，为三氟化氯容置腔压力采集值，为容置腔入口三氟化氯实时压力采集值，为三氟化氯的密度值，为三氟化氯容置腔的直径，为三氟化氯容置腔的容积，为容置腔入口三氟化氯实时流速采集值，为三氟化氯的摩尔质量，R为气体常数，为容置腔入口三氟化氯实时温度值。

进一步，所述基于所述三氟化氯在容置腔内的稳态模型，获取过往数据序列如下：

式中，n为所述过往数据序列中的元素数量，为第i个过往时刻的数据元素，所述；