[发明专利]一种单晶炉晶体高效生长及安全水冷结构在审
| 申请号: | 202310780352.2 | 申请日: | 2023-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN116575110A | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
| 发明(设计)人: | 时刚;王俊 | 申请(专利权)人: | 西安创联新能源设备有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 广州大象飞扬知识产权代理有限公司 44745 | 代理人: | 李静 |
| 地址: | 710000 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉 晶体 高效 生长 安全 水冷 结构 | ||
1.一种单晶炉晶体高效生长及安全水冷结构,包括水冷热屏(1),其特征在于:所述水冷热屏(1)下端圆周设置有导热环(3),所述导热环(3)外侧设置有楔形散热片(4),所述水冷热屏(1)内设置有冷却水(6),所述水冷热屏(1)中心位置设置有单晶硅棒(2)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶体高效生长及安全水冷结构,其特征在于:所述导热环(3)与楔形散热片(4)之间固定连接,所述导热环(3)与楔形散热片(4)均与水冷热屏(1)下表面固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶体高效生长及安全水冷结构,其特征在于:所述水冷热屏(1)的材质为铜合金。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶体高效生长及安全水冷结构,其特征在于:所述水冷热屏(1)下方设置有硅溶液(5)。
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