[发明专利]一种实现数字化旋转控制的微镜在审

专利信息
申请号: 202310694412.9 申请日: 2023-06-12
公开(公告)号: CN116643398A 公开(公告)日: 2023-08-25
发明(设计)人: 程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08;B81B7/02
代理公司: 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 代理人: 张磊
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 实现 数字化 旋转 控制
【权利要求书】:

1.一种实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,包括:

步进控制机构,包括设于衬底上的一对墙体,所述墙体相对的墙面上沿高度方向对应设有多个卡槽;

梁结构,其以两端分别卡接于两个所述墙体上的一个所述卡槽中,并悬设于所述衬底上,所述梁结构上连接有微镜镜面;

旋转控制机构,包括设于所述墙体之间的所述衬底上,且连接在所述微镜镜面两侧的所述梁结构上的一对升降机构;

其中,通过使两个所述升降机构中的一个上升,将位于对应侧的所述梁结构的一端顶起,由当前卡接的一个卡槽中滑出,并弹入上方相邻的另一个卡槽中,同时,通过使两个所述升降机构中的另一个下降,将位于对应侧的所述梁结构的另一端拽下,由当前卡接的一个卡槽中滑出,并弹入下方相邻的另一个卡槽中,使得所述梁结构发生对应角度的上下转动,以使所述微镜镜面跟随旋转。

2.根据权利要求1所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述卡槽包括圆弧形。

3.根据权利要求2所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,各所述卡槽的所述圆弧的圆心位于同一连线上,且与所述梁结构的转动中心重合。

4.根据权利要求3所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微镜镜面连接于转动中心处的所述梁结构的侧面上。

5.根据权利要求4所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微镜镜面通过连接臂连接于所述梁结构上。

6.根据权利要求1所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述升降机构包括微桥结构,所述微桥结构包括导电微桥桥面;其中,通过对所述微桥桥面施加静电力,使所述微桥桥面产生向上或向下的翘曲,带动将与所述微桥桥面连接的所述梁结构的对应端顶起或拽下。

7.根据权利要求6所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微桥桥面的至少两端支撑于所述衬底上。

8.根据权利要求7所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微桥桥面通过导电支撑柱支撑并电连接于所述衬底上。

9.根据权利要求6所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微桥桥面上设有第一金属图形,所述微桥桥面下方的所述衬底表面上对应设有第二金属图形,所述第一金属图形与所述第二金属图形组成一个电容结构。

10.根据权利要求6所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微桥桥面的顶面上设有连杆,所述连杆连接于所述梁结构的底面上。

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