[发明专利]一种实现数字化旋转控制的微镜在审
| 申请号: | 202310694412.9 | 申请日: | 2023-06-12 |
| 公开(公告)号: | CN116643398A | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
| 发明(设计)人: | 程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;B81B7/02 |
| 代理公司: | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人: | 张磊 |
| 地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 实现 数字化 旋转 控制 | ||
1.一种实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,包括:
步进控制机构,包括设于衬底上的一对墙体,所述墙体相对的墙面上沿高度方向对应设有多个卡槽;
梁结构,其以两端分别卡接于两个所述墙体上的一个所述卡槽中,并悬设于所述衬底上,所述梁结构上连接有微镜镜面;
旋转控制机构,包括设于所述墙体之间的所述衬底上,且连接在所述微镜镜面两侧的所述梁结构上的一对升降机构;
其中,通过使两个所述升降机构中的一个上升,将位于对应侧的所述梁结构的一端顶起,由当前卡接的一个卡槽中滑出,并弹入上方相邻的另一个卡槽中,同时,通过使两个所述升降机构中的另一个下降,将位于对应侧的所述梁结构的另一端拽下,由当前卡接的一个卡槽中滑出,并弹入下方相邻的另一个卡槽中,使得所述梁结构发生对应角度的上下转动,以使所述微镜镜面跟随旋转。
2.根据权利要求1所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述卡槽包括圆弧形。
3.根据权利要求2所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,各所述卡槽的所述圆弧的圆心位于同一连线上,且与所述梁结构的转动中心重合。
4.根据权利要求3所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微镜镜面连接于转动中心处的所述梁结构的侧面上。
5.根据权利要求4所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微镜镜面通过连接臂连接于所述梁结构上。
6.根据权利要求1所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述升降机构包括微桥结构,所述微桥结构包括导电微桥桥面;其中,通过对所述微桥桥面施加静电力,使所述微桥桥面产生向上或向下的翘曲,带动将与所述微桥桥面连接的所述梁结构的对应端顶起或拽下。
7.根据权利要求6所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微桥桥面的至少两端支撑于所述衬底上。
8.根据权利要求7所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微桥桥面通过导电支撑柱支撑并电连接于所述衬底上。
9.根据权利要求6所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微桥桥面上设有第一金属图形,所述微桥桥面下方的所述衬底表面上对应设有第二金属图形,所述第一金属图形与所述第二金属图形组成一个电容结构。
10.根据权利要求6所述的实现数字化旋转控制的微镜,其特征在于,所述微桥桥面的顶面上设有连杆,所述连杆连接于所述梁结构的底面上。
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