[发明专利]一种稳波长边发射激光器

权利要求书

1.一种稳波长边发射激光器，其特征在于：

包括激光器本体以及嵌设于激光器本体内部的多阶光栅；

所述激光器本体沿x方向的两端分别为出光端和背光端，所述出光端和/或背光端设有若干沿y方向间隔排布的几何柱，所述几何柱由激光器本体的顶部垂直向激光器本体内部延伸；

若干所述几何柱与其周边的外延结构共同构成所述多阶光栅。

2.如权利要求1所述的一种稳波长边发射激光器，其特征在于：所述激光器本体的出光端和/或背光端设有一让位台阶，所述几何柱由所述让位台阶处垂直向激光器本体内部延伸。

3.如权利要求1或2所述的一种稳波长边发射激光器，其特征在于：所述激光器本体内设有有源区；所述几何柱由激光器本体的顶部垂直延伸至所述有源区底部，并位于所述有源区的非泵浦区内；若干所述几何柱与其周边的非泵浦区的外延结构共同构成所述多阶光栅。

4.如权利要求3所述的一种稳波长边发射激光器，其特征在于：所述激光器本体沿x方向的长度为L，所述非泵浦区沿x方向的长度L₁为0.05L，所述几何柱的外侧边缘与所述非泵浦区的外侧边缘的间距L₂为0-30μm。

5.如权利要求1或2所述的一种稳波长边发射激光器，其特征在于：所述激光器本体内设有有源区和无源区，所述几何柱由激光器本体的顶部垂直延伸至所述无源区内；若干所述几何柱与其周边的无源区的外延结构共同构成所述多阶光栅。

6.如权利要求5所述的一种稳波长边发射激光器，其特征在于：所述无源区沿x方向上的长度L₃为30-50μm，所述几何柱的内侧边缘与所述无源区的内侧边缘的间距L₄为0-30μm。

7.如权利要求1所述的一种稳波长边发射激光器，其特征在于：所述多阶光栅的周期长度Λ的计算公式为：

其中：n表示光栅阶数，λ表示边发射激光器的激射波长，n_eff表示光栅的有效折射率。

8.如权利要求7所述的一种稳波长边发射激光器，其特征在于：所述光栅阶数n的取值范围为：1＜n＜100。

9.如权利要求1所述的一种稳波长边发射激光器，其特征在于：所述几何柱的材料为空气、SiO₂、SiNx、GaAs、InGaAsP或InP。