[发明专利]水溶液中电解回收IGZO废靶的方法在审
| 申请号： | 202310614663.1 | 申请日： | 2023-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN116575081A | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 李少龙;宋建勋;任艺雯;吕泽鹏;王子建 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C25C1/24 | 分类号： | C25C1/24;C25C7/02 |
| 代理公司： | 北京卫智易创专利代理事务所(普通合伙) 16015 | 代理人： | 朱春野 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水溶液 电解 回收 igzo 方法 | ||
【权利要求书】：
1.水溶液中电解回收IGZO废靶的方法，其特征在于，该方法包括：
以IGZO废靶作为阴极，以IGZO废靶或惰性电极作为阳极，以无机盐水溶液作为电解液，形成电解体系；
电解体系进行恒电流电解；
电解结束后，收集电解产物，得到铟镓锌合金。
2.根据权利要求1所述的水溶液中电解回收IGZO废靶的方法，其特征在于：
所述阳极、所述阴极与所述电解液置于电解池中；所述电解池置于恒温水浴装置中；所述恒温水浴装置包括恒温水浴锅，用于设置电解池并对其进行加热。
3.根据权利要求1或2所述的水溶液中电解回收IGZO废靶的方法，其特征在于，所述无机盐为NaCl、KCl、NH4Cl、NH4NO3中的一种或几种的组合；所述无机盐水溶液的质量浓度为1～40wt.％。
4.根据权利要求1或2所述的水溶液中电解回收IGZO废靶的方法，其特征在于，电解液的温度设置为10～100℃。
5.根据权利要求1或2所述的水溶液中电解回收IGZO废靶的方法，其特征在于，恒电流电解的电流密度为0.01～2A·cm-2。
6.根据权利要求1或2所述的水溶液中电解回收IGZO废靶的方法，其特征在于，所述惰性电极为石墨电极。
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