[发明专利]MOS晶体管加工用的固定夹持工装在审
申请号: | 202310607924.7 | 申请日: | 2023-05-26 |
公开(公告)号: | CN116598249A | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 陈志耀 | 申请(专利权)人: | 先之科半导体科技(东莞)有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 东莞市永桥知识产权代理事务所(普通合伙) 44400 | 代理人: | 何新华 |
地址: | 523430 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | mos 晶体管 工用 固定 夹持 工装 | ||
1.MOS晶体管加工用的固定夹持工装,包括底座(1)、安装座(2)和双向螺纹杆(4),其特征在于:所述底座(1)的顶端安装有安装座(2);
所述安装座(2)内部的两侧转动连接有固定结构(3),所述安装座(2)内部的中间位置转动连接有双向螺纹杆(4),所述安装座(2)的一侧固定有辅助结构(7);
所述双向螺纹杆(4)的外侧壁螺纹连接有内螺纹滑块(5),所述内螺纹滑块(5)的顶端固定有限制结构(6),所述限制结构(6)包括固定座(601)、限位杆(602)、滑杆(603)、限制弹簧(604)、夹块(605)和导向杆(606),所述固定座(601)固定在内螺纹滑块(5)的顶端。
2.根据权利要求1所述的MOS晶体管加工用的固定夹持工装,其特征在于:所述固定结构(3)包括转轴(301)、圆槽(302)、限制槽(303)、限制块(304)、压缩弹簧(305)和挡片(306),所述转轴(301)转动连接于安装座(2)内部的两侧,所述底座(1)的内部开设有圆槽(302),所述圆槽(302)的内部设置有限制槽(303),所述转轴(301)的底端固定有限制块(304),所述圆槽(302)内部的底端安装有压缩弹簧(305),所述压缩弹簧(305)的顶端固定有挡片(306)。
3.根据权利要求2所述的MOS晶体管加工用的固定夹持工装,其特征在于:所述转轴(301)关于底座(1)的垂直中心线呈对称分布,所述限制槽(303)与限制块(304)呈转动结构。
4.根据权利要求1所述的MOS晶体管加工用的固定夹持工装,其特征在于:所述固定座(601)的顶端固定有限位杆(602),所述限位杆(602)顶端的内部贯穿有滑杆(603),所述滑杆(603)一侧的外侧壁套设有限制弹簧(604),所述滑杆(603)的一侧固定有夹块(605),所述固定座(601)的内部固定有导向杆(606)。
5.根据权利要求4所述的MOS晶体管加工用的固定夹持工装,其特征在于:所述限位杆(602)与滑杆(603)呈滑动结构,所述限位杆(602)与固定座(601)相互垂直。
6.根据权利要求1所述的MOS晶体管加工用的固定夹持工装,其特征在于:所述辅助结构(7)包括螺纹管(701)、凹槽(702)和螺母(703),所述螺纹管(701)固定在安装座(2)的一侧,所述螺纹管(701)的两端均开设有凹槽(702),所述螺纹管(701)的外侧壁螺纹连接有螺母(703)。
7.根据权利要求6所述的MOS晶体管加工用的固定夹持工装,其特征在于:所述螺纹管(701)与螺母(703)呈螺纹连接,所述凹槽(702)关于螺纹管(701)的垂直中心线呈对称分布。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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