[发明专利]振动器件、电子设备、移动体以及振动器件的频率调整方法

权利要求书

1.一种振动器件，其特征在于，该振动器件包含：

振动元件，其配置有频率调整部；

支承基板，其包含对所述振动元件进行支承的基部、对所述基部进行支承的支承部、以及将所述基部和所述支承部连接起来的梁部；以及

电路元件，其在俯视观察时与所述频率调整部重叠，

所述支承基板包含遮蔽部，该遮蔽部配置在所述频率调整部与所述电路元件之间。

2.根据权利要求1所述的振动器件，其特征在于，

所述遮蔽部具有遮光性。

3.根据权利要求2所述的振动器件，其特征在于，

在所述遮蔽部配置有金属膜。

4.根据权利要求3所述的振动器件，其特征在于，

所述振动元件包含：

元件基部；以及

臂，其从所述元件基部延伸，

所述频率调整部配置于所述臂的末端侧。

5.根据权利要求3所述的振动器件，其特征在于，

所述支承基板具有与所述振动元件电连接的布线。

6.根据权利要求5所述的振动器件，其特征在于，

当将所述金属膜的厚度设为t1，所述布线的厚度设为t2时，

t1＞t2。

7.根据权利要求6所述的振动器件，其特征在于，

1.2≤t1/t2≤5.0。

8.根据权利要求7所述的振动器件，其特征在于，

2.0≤t1/t2≤2.5。

9.根据权利要求1至4中的任意一项所述的振动器件，其特征在于，

所述振动器件包含基座，

所述电路元件固定于所述基座，

所述支承部固定于所述基座，

所述支承基板以及所述电路元件配置在所述振动元件与所述基座之间。

10.根据权利要求9所述的振动器件，其特征在于，

所述振动元件是检测物理量的物理量传感器元件。

11.根据权利要求1至4中的任意一项所述的振动器件，其特征在于，

所述遮蔽部配置于所述梁部。

12.根据权利要求1至4中的任意一项所述的振动器件，其特征在于，

所述遮蔽部配置于所述基部。

13.根据权利要求1至4中的任意一项所述的振动器件，其特征在于，

所述遮蔽部配置于所述支承部。

14.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备具有：

权利要求1至13中的任意一项所述的振动器件；以及

信号处理电路，其根据所述振动器件的输出信号来进行信号处理。

15.一种移动体，其特征在于，该移动体具有：

权利要求1至13中的任意一项所述的振动器件；以及

信号处理电路，其根据所述振动器件的输出信号来进行信号处理。

16.一种振动器件的频率调整方法，所述振动器件包含：

振动元件，其包含在表面形成有金属膜的频率调整部；

支承基板，其包含对所述振动元件进行支承的基部、对所述基部进行支承的支承部、以及将所述基部和所述支承部连接起来的梁部；以及

电路元件，其在俯视观察时与所述频率调整部重叠，

所述支承基板包含遮蔽部，该遮蔽部配置在所述频率调整部与所述电路元件之间，在表面形成有金属膜，

所述频率调整方法的特征在于，

沿着从所述振动元件朝向所述遮蔽部的方向照射激光，将所述频率调整部的至少一部分的金属膜除去。

17.根据权利要求16所述的振动器件的频率调整方法，其特征在于，

所述遮蔽部对透过所述频率调整部的所述激光进行遮光。