[发明专利]基板输送装置和基板输送方法

权利要求书

1.一种基板输送装置，其特征在于，具备：

用于保持基板的保持部的基部；

支承部，其设置于所述基部，从所述基板的下方支承该基板；

升降机构，其使所述支承部相对于所述基部升降；

检测机构，其检测所述支承部的外表面来检测升降状态；以及

控制部，其控制所述升降机构，

所述控制部基于所述检测机构的检测结果来判定所述支承部是否处于所期望的升降状态，

所述基板是从其它基板输送装置输送来的，

所述控制部基于所述检测机构的检测结果来计算所述基板的偏移量，

所述控制部基于所述偏移量来估计所述其它基板输送装置的故障。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

所述检测机构具有光学传感器，该光学传感器以能够形成沿水平方向的光轴的方式设置，以光学方式检测被检测物，

所述保持部具备移动机构，该移动机构使所述支承部沿所述光轴进退。

3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，

还具备用于进行所述光学传感器的位置控制的控制部，

所述控制部在使所述检测机构检测所述支承部的升降状态的情况下，进行所述光学传感器的位置控制，以使得所述光轴与所述支承部重叠。

4.根据权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于，

所述控制部通过将所述光学传感器的位置控制与包括对所述移动机构的控制在内的所述保持部的动作控制进行组合，来使所述光轴与所述支承部重叠。

5.根据权利要求4所述的基板输送装置，其特征在于，

所述支承部设置有多个，

所述控制部进行所述光学传感器的位置控制以及所述保持部的动作控制，以使得各个所述支承部分别与所述光轴重叠。

6.根据权利要求3、4或5所述的基板输送装置，其特征在于，

所述控制部通过利用所述光轴在所述支承部的升降方向上进行扫描，来使所述检测机构检测所述支承部的升降状态。

7.根据权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于，

所述检测机构被设置为用于检测所述基板在能够收纳所述基板的承载件内的收纳状态。

8.根据权利要求7所述的基板输送装置，其特征在于，

所述检测机构设置于所述承载件与所述保持部之间，

所述光学传感器被设置为能够向所述承载件侧和所述保持部侧进行位置变更。

9.根据权利要求7或8所述的基板输送装置，其特征在于，

在每次所述保持部进入所述承载件时，所述控制部使所述检测机构检测所述支承部的升降状态。

10.一种基板输送方法，是基板输送装置中的基板输送方法，所述基板输送装置具备：用于保持基板的保持部的基部；支承部，其设置于所述基部，从所述基板的下方支承所述基板；升降机构，其使所述支承部相对于所述基部升降；检测机构，其检测所述支承部的外表面来检测升降状态；以及控制部，其控制所述升降机构，所述基板输送方法的特征在于，包括以下工序：

检测工序，检测所述支承部的升降状态；以及

基于所述检测工序的检测结果来判定所述支承部是否处于所期望的升降状态，

所述基板是从其它基板输送装置输送来的，

所述基板输送方法还包括以下工序：

基于所述检测工序的检测结果来计算所述基板的偏移量；以及

基于所述偏移量来估计所述其它基板输送装置的故障。