[发明专利]一种基于铌酸锂薄膜侧壁光栅的电光可调谐滤波器

权利要求书

1.一种基于铌酸锂薄膜侧壁光栅的电光可调谐滤波器，其特征在于，包括：激光器芯片1、准直透镜2、隔离器3、分光棱镜4、聚焦透镜5、铌酸锂薄膜调制器芯片6、光纤组件7、制冷器8、热沉9、陶瓷基板10；激光器芯片1与铌酸锂薄膜调制器芯片6采用L型空间耦合方式，具体的：

激光器芯片1、准直透镜2、以及隔离器3装配在热沉9上，热沉9放置在制冷器8上；

分光棱镜4、聚焦透镜5、铌酸锂薄膜调制器芯片6装配在陶瓷基板10上；

激光器芯片1发出多波长窄波信号，经过准直透镜2进入隔离器3，然后通过分光棱镜4分别进入不同的聚焦透镜5，最后进入铌酸锂薄膜波导芯片6的输入端，铌酸锂薄膜波导芯片6的输出端接光纤组件7。

2.根据权利要求1所述的一种基于铌酸锂薄膜侧壁光栅的电光可调谐滤波器，其特征在于，铌酸锂薄膜波导芯片6具体包括：通过在铌酸锂薄膜芯片上刻蚀得到的多路铌酸锂薄膜波导；每一路铌酸锂薄膜波导结构相同，包括：第一直波导、第一MMI分束器、第一Y分支波导、第二直波导、第三直波导、第二MMI分束器、第三MMI分束器、四个侧壁长周期波导光栅、分布于侧壁长周期波导光栅两侧的电极；进入到每路铌酸锂薄膜波导内的信号，通过第一MMI分束器平均分成2路进入第一Y分支波导的两个臂，经第一Y分支波导第一条臂上的第二直波导后的信号进入第二Y分支波导的两个臂，第二Y分支波导的两个臂各连接一个侧壁长周期波导光栅；经第一Y分支波导第二条臂上的第三直波导后的信号进入第三Y分支波导的两个臂，第三Y分支波导的两个臂各连接一个侧壁长周期波导光栅。

3.根据权利要求2所述的一种基于铌酸锂薄膜侧壁光栅的电光可调谐滤波器，其特征在于，每个侧壁长周期波导光栅的输入端与输出端分别连接一个渐变波导。

4.根据权利要求3所述的一种基于铌酸锂薄膜侧壁光栅的电光可调谐滤波器，其特征在于，通过给侧壁长周期波导光栅两侧的电极加电，改变侧壁长周期波导光栅有效折射率。

5.根据权利要求4所述的一种基于铌酸锂薄膜侧壁光栅的电光可调谐滤波器，其特征在于，分布于侧壁长周期波导光栅两侧的电极为推免电极。

6.根据权利要求5所述的一种基于铌酸锂薄膜侧壁光栅的电光可调谐滤波器，其特征在于，侧壁长周期波导光栅的光栅周期根据进入该路铌酸锂薄膜波导的谐振中心波长确定。