[发明专利]一种蓝膜芯片倒膜设备在审
| 申请号: | 202310393765.5 | 申请日: | 2023-04-13 |
| 公开(公告)号: | CN116344422A | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
| 发明(设计)人: | 孙勇;肖海苹;徐志刚 | 申请(专利权)人: | 深圳市博辉特科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/687;H01L21/683;B08B1/00 |
| 代理公司: | 北京科创易佰知识产权代理事务所(普通合伙) 16113 | 代理人: | 路忠琴 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙华区观*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 设备 | ||
1.一种蓝膜芯片倒膜设备,包括固定架(1)、上料模块(2)、涂抹模块(3)、吸膜模块(4)、环形推料模块(5)和斜槽架(6),其特征在于,所述固定架(1)为矩形结构,固定架(1)中部安装有环形推料模块(5),环形推料模块(5)下方设置有上料模块(2),环形推料模块(5)上方设置有吸膜模块(4),环形推料模块(5)左侧设置有涂抹模块(3),环形推料模块(5)右侧设置有斜槽架(6),上料模块(2)、涂抹模块(3)、吸膜模块(4)和斜槽架(6)均匀安装在固定架(1)上;
所述涂抹模块(3)包括滑动板(31)、滑动槽(32)、滑动架(33)、电动推杆(34)和涂抹单元(35),所述固定架(1)左侧通过螺钉安装有滑动板(31),滑动板(31)上对称设置有滑动槽(32),滑动槽(32)内对称设置有滑动架(33),滑动架(33)上安装有涂抹单元(35),滑动板(31)左端通过支架安装有电动推杆(34),电动推杆(34)顶端与涂抹单元(35)相连接;
所述环形推料模块(5)包括转轴一(51)、电机(52)、固定轴(53)、环形架(54)、推料单元(55)和转动架(56),所述固定架(1)前端中部安装有固定轴(53),固定轴(53)中部通过轴承安装有转轴一(51),转轴一(51)与电机(52)的输出端相连接,电机(52)通过电机座安装在固定架(1)后侧,转轴一(51)前端通过螺钉安装有转动架(56),转动架(56)外端通过螺钉安装有环形架(54),环形架(54)与固定轴(53)之间转动连接,环形架(54)上均匀设置有定位槽,定位槽内安装有推料单元(55)。
2.根据权利要求1所述的一种蓝膜芯片倒膜设备,其特征在于:所述上料模块(2)包括U型架(21)、滑槽(22)、电动滑块(23)、滑块(24)、齿条板(25)和上料单元(26),所述固定架(1)内侧下方安装有U型架(21),U型架(21)内对称安装有齿条板(25),U型架(21)内壁两端设置有滑槽(22),滑槽(22)内安装有电动滑块(23),电动滑块(23)上连接有滑块(24),两个滑块(24)之间连接有上料单元(26),上料单元(26)与环形推料模块(5)相配合。
3.根据权利要求1所述的一种蓝膜芯片倒膜设备,其特征在于:所述吸膜模块(4)包括弧形架(41)、吸收槽(42)、封盖(43)和吸膜单元(44),所述弧形架(41)安装在固定轴(53)上方,弧形架(41)内设置有吸收槽(42),吸收槽(42)内安装有吸膜单元(44),吸收槽(42)上方设置有封盖(43),封盖(43)通过螺钉安装在弧形架(41)上。
4.根据权利要求2所述的一种蓝膜芯片倒膜设备,其特征在于:所述上料单元(26)包括转轴二(261)、齿轮(262)和上料模架(263),所述转轴二(261)通过轴承安装在两个滑块(24)之间,转轴二(261)上对称安装有齿轮(262),齿轮(262)与齿条板(25)啮合,转轴二(261)中间安装有上料模架(263)。
5.根据权利要求1所述的一种蓝膜芯片倒膜设备,其特征在于:所述涂抹单元(35)包括储料架(351)、储料槽(352)、负压板(353)、出料架(354)、套管(355)、涂抹杆(356)、伸缩弹簧(357)和压缩套管(358),所述储料架(351)和出料架(354)分别安装在滑动架(33)上,储料架(351)与出料架(354)之间安装有压缩套管(358),储料架(351)、出料架(354)和压缩套管(358)之间密封连接,储料架(351)左端与电动推杆(34)相连,储料架(351)内设置有储料槽(352),储料槽(352)上下两端对称设置有空槽,空槽内安装有负压板(353),负压板(353)上均匀设置有负压孔,储料架(351)右端通过轴承均匀安装涂抹杆(356),涂抹杆(356)与储料槽(352)相连通,涂抹杆(356)外端安装有伸缩弹簧(357),出料架(354)内均匀安装有套管(355),涂抹杆(356)右端位于套管(355)内。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市博辉特科技有限公司,未经深圳市博辉特科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202310393765.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种软体手指状抓手平面展开形状优化方法
- 下一篇:呼吸机冷凝水倾倒桶及呼吸机
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





