[发明专利]一种缓释溶氧量配制显影液的共聚器及其使用方法在审
申请号: | 202310382427.1 | 申请日: | 2023-04-11 |
公开(公告)号: | CN116393070A | 公开(公告)日: | 2023-07-07 |
发明(设计)人: | 王建荣;王博宇;刘伟 | 申请(专利权)人: | 昆山欣谷微电子材料有限公司 |
主分类号: | B01J19/14 | 分类号: | B01J19/14;B01J19/18;B01J19/00;B01J4/00 |
代理公司: | 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙) 32358 | 代理人: | 高威 |
地址: | 215341 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 缓释溶氧量 配制 显影液 共聚 及其 使用方法 | ||
1.一种缓释溶氧量配制显影液的共聚器,其特征在于,包括:
罐体结构,用于供各试剂共聚配制并定容形成显影液,其中,罐体结构包括共聚罐(2)和可开合地设置在共聚罐(2)顶部的罐盖(3),所述共聚罐(2)设置在架体(1)上;
辅助混合机构,所述辅助混合机构用于在罐体结构内通过机械搅拌的方式促进各试剂依次与显影剂充分混合反应;
缓释溶氧机构,所述缓释溶氧机构用于从所述罐体结构的底部通入氮气,并在罐体结构的上部形成低压。
2.根据权利要求1所述的一种缓释溶氧量配制显影液的共聚器,其特征在于,所述罐体结构内的溶液液面上层与罐盖(3)的顶壁之间形成气腔,所述缓释溶氧机构包括安装在共聚罐(2)外壁上的增压泵(9)和泄压泵(10),泄压泵(10)和增压泵(9)一高一低设置;增压泵(9)的进气口与氮气罐连通,增压泵(9)的出气口通过鼓气管(12)连通共聚罐(2)的底部;泄压泵(10)的进气口通过排气管(13)连通罐体结构内部上方的气腔,泄压泵(10)的出气口与外界大气导通;
在增压泵(9)的一侧安装了共聚马达(8),共聚马达(8)的输出端转动设置有主轴(16),所述主轴(16)穿过增压泵(9)的泵壳和共聚罐(2)的一侧伸入到所述共聚罐(2)内;主轴(16)伸入到增压泵(9)泵壳内的一段与增压泵(9)的叶轮轴同轴连接,泄压泵(10)的叶轮轴一端从泄压泵(10)的泵壳一侧伸出泄压泵(10),泄压泵(10)的叶轮轴伸出泄压泵(10)泵壳的一段与主轴(16)之间通过传动带(11)连接,主轴(16)与泄压泵(10)的叶轮轴之间通过传动带(11)增速传动。
3.根据权利要求2所述的一种缓释溶氧量配制显影液的共聚器,其特征在于,所述辅助混合机构包括转动设置在所述共聚罐(2)内部中央的中心轴(19),所述共聚罐(2)内部安装有两个高低分布的内置横架(15),所述中心轴(19)的上下部分别与两个内置横架(15)的中心转动配合;
所述主轴(16)伸入到共聚罐(2)内的一端设置有第一锥齿轮(17),所述第一锥齿轮(17)与设置在中心轴(19)上的锥齿盘(18)咬合;
在中心轴(19)上沿其轴向转动设置了多个幅轴(20),所述幅轴(20)上设置有叶片(24),所述幅轴(20)远离中心轴(19)的一端安装了第二锥齿轮(21);所述共聚罐(2)的内壁上安装有两组环架(22),每组环架(22)上均圆周等间距设置了多个锥齿段(23),且两组环架(22)关于幅轴(20)所在平面对称,两组环架(22)上的相邻两锥齿段(23)之间相互错位,并存在错位间隙,所述第二锥齿轮(21)与锥齿段(23)适配。
4.根据权利要求3所述的一种缓释溶氧量配制显影液的共聚器,其特征在于,所述罐盖(3)上设置有多个分料罐(47),所述罐盖(3)的外部中央安装有减速器(46),所述减速器(46)与排放电机(45)连接,且减速器(46)的输出端转动设置有换位轴(48);
所述换位轴(48)与安装在分料罐(47)底部的放料阀组配合,所述换位轴(48)穿过所述罐盖(3)的中央并与之转动配合。
5.根据权利要求4所述的一种缓释溶氧量配制显影液的共聚器,其特征在于,所述中心轴(19)上设置了分气阀组件,分气阀组件用于使增压泵(9)泵入的氮气间断性地向罐体结构底部和分料罐(47)中注入;
其中,分气阀组件包括了一号阀组和二号阀组,一号阀组设置在中心轴(19)下端,二号阀组通过转接结构连接中心轴(19)上端。
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