[发明专利]一种快速合金退火炉的控温方法

权利要求书

1.一种快速合金退火炉的控温方法，其特征在于，所述退火炉的加热腔内设有上层卤素灯管和下层卤素灯管；所述上层卤素灯管和下层卤素灯管之间设有用于给晶片间接热传导的导热盒；

所述上层卤素灯管和下层卤素灯管内均设有若干间隔平行设置的卤素灯管；所述上层卤素灯管内的卤素灯管与所述下层卤素灯管内的卤素灯管垂直设置；将所述上层卤素灯管和下层卤素灯管分别划分成若干控温区域；每个控温区域由一个单独的加热电源控制，通过调节每个控温区域的电源输出占空比调节输出电压，控制每个控温区域加热功率的高低，通过PID控制来实现快慢速升降温。

2.根据权利要求1所述的一种快速合金退火炉的控温方法，其特征在于，所述上层卤素灯管和下层卤素灯管内的卤素灯管的功率相同。

3.根据权利要求1所述的一种快速合金退火炉的控温方法，其特征在于，所述上层卤素灯管和下层卤素灯管均包含14根卤素灯管；

所述下层卤素灯管内，两侧边缘的各一根共2根卤素灯管组成第一控温区域，中间6根卤素灯管组成第二控温区域，剩余6根卤素灯管组成第三控温区域；

所述上层卤素灯管内，两侧边缘的各一根共2根卤素灯管组成第四控温区域，中间6根卤素灯管组成第六控温区域，剩余6根卤素灯管组成第五控温区域。

4.根据权利要求1所述的一种快速合金退火炉的控温方法，其特征在于，所述导热盒的材料为石墨镀碳化硅或者热解碳。

5.根据权利要求1所述的一种快速合金退火炉的控温方法，其特征在于，所述导热盒的材料为石墨镀碳化硅时，所述导热盒内外表面均设有氮化硅涂层，所述氮化硅涂层的厚度为50-100um。