[发明专利]一种废气处理设备及其控制方法

说明书

本发明提供了一种废气处理设备及其控制方法，涉及泛半导体技术领域，用以解决废气处理设备中监测口因气体扰动容易堵塞的问题，从而大幅延长设备维护周期，降低了维护成本。该废气处理设备包括：至少一个进气管单元；所述进气管单元包括：进气管路和负压监测管路；其中，所述进气管路包括进气管，所述进气管的管壁设置多个监测口；所述负压监测管路包括监测管，所述监测管包括至少一个进口和多个出口，各所述出口分别与不同的所述监测口连通；所述进口被配置为：在所述负压监测管路处于工作状态的情况下，接收防扰气体，以使得所述监测管内部保持气体流动。

技术领域

本发明涉及泛半导体技术领域，尤其涉及一种废气处理设备及其控制方法。

背景技术

集成电路在生产与制造时，会产生大量工艺气体。为了避免污染环境，这些工艺气体需要经过废气处理设备进行相应处理。

废气处理设备在运行过程中，一旦发生内部管路堵塞，会导致前端系统中真空泵因压力过高出现停机，从而影响系统运行，降低生产效率。目前通过设置负压监测口对废气处理设备的内部管路进行负压监测，但是负压监测口受内部气体扰动，容易发生堵塞，从而大幅缩短了设备维护周期，提高了维护成本。

发明内容

本发明提供一种废气处理设备及其控制方法，用以解决废气处理设备中监测口因气体扰动容易堵塞的问题，从而大幅延长设备维护周期，降低了维护成本。

本发明提供一种废气处理设备，包括：至少一个进气管单元；所述进气管单元包括：进气管路和负压监测管路；

其中，所述进气管路包括进气管，所述进气管的管壁设置多个监测口；

所述负压监测管路包括监测管，所述监测管包括至少一个进口和多个出口，各所述出口分别与不同的所述监测口连通；

所述进口被配置为：在所述负压监测管路处于工作状态的情况下，接收防扰气体，以使得所述监测管内部保持气体流动。

根据本发明提供的一种废气处理设备，所述进气管的管壁设置四个所述监测口；所述监测管包括一个所述进口和四个所述出口；

四个所述监测口分为两组，各组均包括沿所述进气管的轴向间隔设置的第一监测口和第二监测口；属于不同组的两个所述第一监测口沿所述进气管的径向设置；属于不同组的两个所述第二监测口沿所述进气管的径向设置。

根据本发明提供的一种废气处理设备，所述进气管包括进口端和出口端，各所述监测口与所述进口端沿所述进气管的轴向的距离，小于各所述监测口与所述出口端沿所述进气管的轴向的距离。

根据本发明提供的一种废气处理设备，所述进气管路还包括隔离管；所述隔离管套设在所述进气管的内部，所述隔离管的一端与所述进口端固定；所述隔离管沿所述进气管的轴向的距离大于任一所述监测口与所述进口端沿所述进气管的轴向的距离。

根据本发明提供的一种废气处理设备，所述进气管路还包括缩口管；

所述缩口管套设在所述进气管的内部、且所述隔离管设置在所述进气管和所述缩口管之间，所述缩口管的一端与所述进口端固定；所述缩口管沿所述进气管的轴向的长度大于所述隔离管沿所述进气管的轴向的长度。

根据本发明提供的一种废气处理设备，所述缩口管沿所述进气管的轴向的长度至少是所述隔离管沿所述进气管的轴向的长度的两倍。

根据本发明提供的一种废气处理设备，所述进气管路还包括加热层；

所述加热层围绕所述进气管的外壁设置；所述加热层设置多个加热开口，所述加热开口分别与所述监测口和所述出口连通。