[发明专利]基于纳米圆环和狭缝结构的片上轨道角动量分选器与方法在审
| 申请号： | 202310307001.X | 申请日： | 2023-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN116299804A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 魏仕彪;马艺娟;彭健生 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 深圳市海顺达知识产权代理有限公司 44831 | 代理人： | 罗志伟 |
| 地址： | 518054 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 圆环 狭缝 结构 上轨道 角动量 分选 方法 | ||
1.一种基于纳米圆环和狭缝结构的片上轨道角动量分选器，其特征在于：包括基膜，所述基膜上刻蚀有圆环。
2.根据权利要求1所述的基于纳米圆环和狭缝结构的片上轨道角动量分选器，其特征在于：所述基膜上刻蚀有狭缝，所述狭缝位于所述圆环的圆心上。
3.根据权利要求2所述的基于纳米圆环和狭缝结构的片上轨道角动量分选器，其特征在于：所述狭缝刻透所述基膜。
4.根据权利要求2所述的基于纳米圆环和狭缝结构的片上轨道角动量分选器，其特征在于：所述基膜上刻蚀有光栅结构，所述光栅结构位于所述狭缝的任意一侧。
5.根据权利要求4所述的基于纳米圆环和狭缝结构的片上轨道角动量分选器，其特征在于：所述光栅结构不刻透所述基膜。
6.根据权利要求4所述的基于纳米圆环和狭缝结构的片上轨道角动量分选器，其特征在于：所述基膜的厚度为200纳米，所述圆环的刻蚀深度为100纳米，所述狭缝的刻蚀深度为200纳米，所述光栅结构的蚀刻深度为100纳米。
7.根据权利要求1所述的基于纳米圆环和狭缝结构的片上轨道角动量分选器，其特征在于：所述圆环不刻透所述基膜。
8.根据权利要求1所述的基于纳米圆环和狭缝结构的片上轨道角动量分选器，其特征在于：所述圆环至少有一个。
9.据权利要求1至8中任一项所述的基于纳米圆环和狭缝结构的片上轨道角动量分选器，其特征在于：所述基膜为金膜或银膜。
10.一种基于纳米圆环和狭缝结构的片上轨道角动量分选方法，其特征在于：基于权利要求4所述的片上轨道角动量分选器进行以下分选过程：
S1、将不同拓扑荷的OAM光束垂直入射圆环后，在近场激发不同半径大小的SPPs场，OAM的中文含义为轨道角动量，SPPs的中文含义为表面等离激元；
S2、通过狭缝测量OAM拓扑荷的绝对值大小；
S3、通过光栅结构区分OAM拓扑荷的正负。
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