[发明专利]一种石英舟生产用装置、石英舟的加工方法以及石英舟

说明书

本申请涉及一种石英舟生产用装置、石英舟的加工方法以及石英舟,涉及石英舟生产的领域，包括呈池体状的架体以及喷射切割头，所述架体上安装有与架体连通的工作台，所述架体中铰接有两个筛板，筛板位于工作台下方，两个筛板的铰接轴朝相互远离的方向设置，筛板的铰接轴沿架体的高度方向滑动，筛板上还连接有若干个连接弹簧，连接弹簧的上端固定在架体上，两个筛板相互靠近一侧的下方设有一个收集箱，收集箱上滑动连接有封堵收集箱的盖板，筛板与盖板连接，架体中还设有驱动筛板沿架体高度方向移动从而控制筛板转动以及盖板移动的驱动组件。本申请具有减少资源浪费的效果。

技术领域

本申请涉及石英舟生产的领域，尤其是涉及一种石英舟生产用装置、石英舟的加工方法以及石英舟。

背景技术

石英舟主要用于集成电路芯片生产线中的氧化扩散工序，是承载晶圆的载体，石英舟包括两个相对设置的端板，两个端板之间设有多个槽棒，多个槽棒沿端板的周向均匀分布，槽棒上开设有用于插接晶圆的槽；在生产石英舟时，会先生产槽棒以及端板，然后由操作人员将槽棒焊接至端板上，最后形成石英舟。在制作槽棒时，会先使用带锯将石英锭切割成石英板，接着使用水刀切割机将石英板切割成尺寸一定的石英条，然后依次使用平磨机、磨盘以及数控机床对石英条进行加工，最后形成槽棒。

水刀切割机包括中空的架体、镂空的工作台以及喷射切割头，喷射切割头中会有水以及磨料通入，使用后的水通过工作台落入架体中，由于磨料使用后粒径会减小，其中含有粒径过小不符生产需要的磨料，若回收利用，可能会导致磨料管堵塞，所以常见水刀切割机不对磨料进行回收，使用后的水以及磨料会沿架体上的排水口直接排至外界，造成了资源浪费的问题。

发明内容

为了减少浪费资源，本申请提供一种石英舟生产用装置、石英舟的加工方法以及石英舟。

第一方面，本申请提供一种石英舟生产用装置，采用如下的技术方案：

一种石英舟生产用装置，包括呈池体状的架体以及喷射切割头，所述架体上安装有与架体连通的工作台，所述架体中铰接有两个筛板，筛板位于工作台下方，两个筛板的铰接轴朝相互远离的方向设置，筛板的铰接轴沿架体的高度方向滑动，筛板上还连接有若干个连接弹簧，连接弹簧的上端固定在架体上，两个筛板相互靠近一侧的下方设有一个收集箱，收集箱上滑动连接有封堵收集箱的盖板，筛板与盖板连接，架体中还设有驱动筛板沿架体高度方向移动从而控制筛板转动以及盖板移动的驱动组件。

通过采用上述技术方案，当加工石英板时，喷射切割头喷射出水以及磨料，水以及磨料通过工作台落至筛板上，筛板对水中的磨料进行筛选，粒径符合使用要求的磨料留存在筛板上；筛板工作一段时间后，驱动组件工作并带动筛板铰接轴的一侧向上移动，同时筛板对连接弹簧进行压缩，筛板移动并拉动盖板移动，盖板移动使收集箱打开，此时筛板上的磨料可以沿倾斜的筛板落至收集箱中。

当驱动组件工作一段时间后，驱动组件停止工作，连接弹簧恢复形变并推动筛板向下移动，筛板移动并推动盖板复位，当连接弹簧恢复至初始状态时，筛板与盖板恢复至初始位置；当操作人员拿取收集箱中的磨料后，将磨料投入磨料输送器中，减少了资源浪费的情况。

可选的，两个所述筛板相互远离的一侧铰接有一个立板，立板滑动连接在架体上，且立板沿架体的高度方向滑动，连接弹簧远离架体的一端固定连接在立板上。

通过采用上述技术方案，当驱动组件驱动筛板沿架体的高度方向移动时，筛板以及立板同时沿架体的高度方向移动，使筛板铰接轴的位置发生改变，从而使筛板转动。

可选的，所述立板与筛板二者的长度方向一致，所述驱动组件包括架体与立板对应的内侧壁上铰接的驱动杆，驱动杆的上端铰接有一个凸块，凸块滑动连接在立板上并沿立板的长度方向移动；筛板下方设有与筛板一一对应的集水箱，集水箱位于驱动杆上方，且集水箱与驱动杆的下端接触，集水箱上固定连接有多个支撑弹簧，支撑弹簧的下端固定连接在架体上，使集水箱下表面与架体内底壁之间存在距离，驱动件还包括控制集水箱沿架体高度方向往复移动的泄水件。