[发明专利]一种磁性材料薄膜制备用电沉积装置

权利要求书

1.一种磁性材料薄膜制备用电沉积装置，包括固定座(1)，其特征在于，所述固定座(1)的内部开设有加热腔(21)，且加热腔(21)的顶部内壁开设有通口(22)，所述通口(22)的内壁滑动连接有槽体(2)，所述槽体(2)底部内壁的两侧均通过螺栓连接有阳极板(4)，所述槽体(2)的底部内壁开设有连接口，且连接口的内壁固定有垫板(3)，所述垫板(3)为柔性材质，所述加热腔(21)一侧内壁的两端均设置有加热器(24)，所述加热腔(21)的一侧内壁开设有水口，所述加热腔(21)的内部设置有摆动机构(23)，且摆动机构(23)包括转杆(27)、第一摆动板(25)和第二摆动板(30)，所述转杆(27)的两端与加热腔(21)之间通过轴承形成转动连接，所述第一摆动板(25)和第二摆动板(30)的底部外壁均转动连接有转轴(26)，且转轴(26)的底部外壁与加热腔(21)之间通过螺栓连接，所述转杆(27)外壁的两端分别设置有第一凸起部(28)和第二凸起部(31)，且第一凸起部(28)和第二凸起部(31)对称分布，所述第一凸起部(28)和第二凸起部(31)的位置相反，所述第一凸起部(28)和第二凸起部(31)的外壁均转动套接有轴套(32)，且其中一个轴套(32)与第一摆动板(25)之间以及另一个轴套(32)与第二摆动板(30)之间均通过铰链连接有连接轴(29)。

2.根据权利要求1所述的一种磁性材料薄膜制备用电沉积装置，其特征在于，所述固定座(1)的一侧外壁通过螺栓连接有支撑座(6)，且支撑座(6)的顶部外壁开设有固定槽(8)，固定槽(8)相对的两侧内壁之间通过轴承转动连接有第一螺杆(9)，固定槽(8)的内壁滑动连接有滑块，滑块的外壁开设有螺纹孔，螺纹孔与第一螺杆(9)之间螺纹连接，滑块的顶部外壁通过螺栓连接有支撑架(10)，支撑架(10)的顶部外壁设置有升降机构，支撑座(6)的一侧外壁通过螺栓连接有第一电机(7)，第一电机(7)与第一螺杆(9)之间固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种磁性材料薄膜制备用电沉积装置，其特征在于，所述支撑座(6)的一侧外壁开设有定位槽(18)，且定位槽(18)的内壁滑动连接有定位块，定位块与支撑架(10)之间通过螺栓连接。

4.根据权利要求2所述的一种磁性材料薄膜制备用电沉积装置，其特征在于，所述升降机构包括升降架(11)、第二螺杆(12)和第二电机(14)，且升降架(11)与支撑架(10)之间通过螺栓连接，升降架(11)相对的两侧内壁之间与第二螺杆(12)之间通过轴承形成转动连接，第二螺杆(12)的外壁螺纹连接有连接块(13)，连接块(13)的一侧外壁通过螺栓连接有支撑板(15)，支撑板(15)的底部外壁设置有固定机构(16)，固定机构(16)底部外壁的两侧均设置有阴极板(17)，第二电机(14)与升降架(11)之间通过螺栓连接，第二电机(14)输出轴的一端与第二螺杆(12)之间固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种磁性材料薄膜制备用电沉积装置，其特征在于，所述升降架(11)相对的两侧内壁之间开设有导向槽(19)，且导向槽(19)的内壁滑动连接有导向块(20)，导向块(20)与连接块(13)之间固定连接。

6.根据权利要求4所述的一种磁性材料薄膜制备用电沉积装置，其特征在于，所述固定机构(16)包括连接板(40)、推板(41)和夹板(39)，且连接板(40)与支撑板(15)之间固定连接，连接板(40)与推板(41)之间通过螺栓连接有液压杆(47)，夹板(39)与推板(41)之间通过螺栓连接有弹簧(44)，两个夹板(39)相对的一侧外壁靠近底部的位置通过螺栓连接有固定夹(45)，固定夹(45)的顶部外壁开设有螺纹通孔，螺纹通孔的内壁螺纹连接有紧固栓(46)。

7.根据权利要求6所述的一种磁性材料薄膜制备用电沉积装置，其特征在于，所述固定座(1)顶部外壁的两侧均通过螺栓连接有限位架(33)，且两个限位架(33)对称分布在槽体(2)的两侧，限位架(33)与摆动机构(23)之间设置有振动机构(5)。